[发明专利]一种离子束刻蚀时的加工参数确定方法

权利要求书

1.一种离子束刻蚀时的加工参数确定方法，其特征在于，包括：

预设工件刻蚀的相关参数，其包括：工件一维刻蚀深度曲线与离子束刻蚀速率；

将工件一维刻蚀深度曲线进行曲线变化，获得相应的驻留时间曲线；

根据所述驻留时间曲线计算快门组件或工件的匀速移动速率，并根据所述匀速移动速率对驻留时间曲线进行坐标变换；

对坐标变换后的驻留时间曲线进行分割，获得快门组件中可移动快门相对于快门零位的距离与时间曲线。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述驻留时间曲线计算快门组件或工件的匀速移动速率包括：

计算驻留时间曲线中每个凹槽对应的斜率，取最小的斜率的绝对值作为快门组件或工件的匀速移动速率。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述匀速移动速率对驻留时间曲线进行坐标变换包括：

将驻留时间曲线投影到以匀速移动速率为斜率且过原点的直线上，完成驻留时间曲线的坐标变换。