[发明专利]脆性材料基板的分断方法及分断装置

权利要求书

1.一种分断方法，是对在脆性材料基板的一面形成有刻划线的脆性材料基板进行裂断，其特征在于：

在环的内侧黏贴黏着性膜；

将该脆性材料基板的形成有刻划线的面保持在黏贴有黏着性膜的环；

以不具有黏着性的保护膜覆盖该脆性材料基板的另一面，且该不具有黏着性的保护膜接触该黏着性膜；

通过该黏着性膜利用一对承受刃保持该脆性材料基板；

从该不具有黏着性的保护膜的上部以配合该脆性材料基板的位于该一对承受刃间的刻划线的方式以裂断杆按压而借此于不切断该保护膜之下将该脆性材料基板进行裂断。

2.一种分断装置，是对在脆性材料基板的一面形成有刻划线的脆性材料基板进行裂断，其特征在于，具备：

将该脆性材料基板的形成有刻划线的面黏贴在黏着性膜的手段、

以不具有黏着性的保护膜覆盖已黏贴在该黏着性膜的脆性材料基板的另一面的手段、

通过该黏着性膜而保持该脆性材料基板的一对承受刃、以及

从该不具有黏着性的保护膜侧以配合该脆性材料基板的位于该一对承受刃间的刻划线的方式以裂断杆按压而借此于不切断该保护膜之下将该脆性材料基板进行裂断的手段，

其中，该不具有黏着性的保护膜接触该黏着性膜。