[发明专利]一种电焊护目镜滤光片的镀膜方法

权利要求书

1.一种电焊护目镜滤光片的镀膜方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)切割基片，使基片成型；

(2)镀前对基片进行超声波清洗；

(3)电焊护目镜滤光片的膜层的镀制：使用的膜料为氧化铝、银和硫化锌，膜料的预熔为采用三个坩埚逐次预熔，镀膜方式采用电子束镀膜，镀制过程采用两种过程，首先是上述膜料的沉积过程，其次是等离子源的辅助轰击过程；

(4)检测环节：采用晶振法监控；

通过上述的过程制成成品滤光片。

2.如权利要求1所述的一种电焊护目镜滤光片的镀膜方法，其特征在于，步骤(2)中的超声波清洗包括以下步骤：

对一号清洗槽加入20L纯水与500g草酸，控制药液温度45℃±2℃对三号清洗槽加入20L纯水与500g活性剂，控制药液温度45℃±2℃，对五号与六号槽各加入60L纯水与4升C15清洗剂，控制药液温度45℃±2℃；

二号与四号清洗槽用常温纯水漂洗，八号、九号、十号、十一号清洗槽用50℃±2℃纯水漂洗；

十二号纯水慢拉烘干槽，纯水温度60℃±2℃，十三、十四号槽热风烘干，温度65℃±2℃，十五号槽常温去离子烘干；

将插好基片的清洗网放入一号清洗槽开始清洗，按照一号至十五号清洗槽的顺序依次清洗，清洗速度为每5分钟一个槽，直到最后一槽结束；

超声波的功率为700W；

频率值的设定为28KHZ～40KHZ。

3.如权利要求1所述的一种电焊护目镜滤光片的镀膜方法，其特征在于，步骤(3)中，采用三个坩埚进行逐次预熔，其中电子束技术参数设定如下：

硫化锌  X≈0～1.5 Y≈0～2.0 功率150 预熔时间5min；

银      X≈0～1.5 Y≈0～2.0 功率220 预熔时间4min；

氧化铝  X≈0～1.5 Y≈0～2.0 功率300 预熔时间6min。

4.如权利要求1所述的一种电焊护目镜滤光片的镀膜方法，其特征在于，步骤(3)中，三种膜料沉积过程中，电子束的技术参数如下：

硫化锌  放电功率 5.5-6.0KW 沉积速率5nm/s 偏转电流 0.5-1.2A；

银      放电功率 7.5-8.0KW 沉积速率6nm/s 偏转电流 0.5-1.2A；

氧化铝  放电功率 7.5-8.0KW 沉积速率6nm/s 偏转电流 0.5-1.2A。