[发明专利]一种低压力环境中测量真空容器容积比的方法

权利要求书

1.一种低压力环境中真空容器容积比的测量方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤1，建立测量系统；

所述测量系统包括容器A(2)、容器B(5)、非蒸散性吸气泵(7)、真空泵(9)和气瓶(11)；其中，气瓶(11)通过微调阀(1)与容器A(2)连接，用于提供单一成分的惰性气体；容器A(2)和容器B(5)通过真空阀门A(4)连接；容器A(2)中设有真空计A(3)和真空计B(8)，其中，真空计A(3)的量程范围能到达10^-5Pa以下，真空计B(8)的量程范围为10^-2～～10^-5Pa；非蒸散性吸气泵(7)通过真空阀门B(6)与容器B(5)连接；真空泵(9)通过真空阀门C(10)与容器B(5)连接；初始状态，所有真空阀门(4、6、10)和微调阀(1)处于关闭状态；

步骤2，开启真空阀门A(4)、真空阀门C(10)，用真空泵(9)对容器A(2)、容器B(5)及其连接管道抽真空至本底压力，即10^-5Pa以下；

步骤3，关闭真空阀门C(10)，打开真空阀门B(6)，开启非蒸散性吸气泵(7)，待容器A(2)内的气体压力稳定后，采用真空计A(3)测量测量系统的本底压力p₀；

步骤4，关闭真空阀门A(4)，开启微调阀(1)，以恒定压力向真空容器A(2)充入单一成分的惰性气体，当真空容器A(2)内的压力为10^-2～10^-5时，关闭微调阀(1)；

步骤5，待真空容器A(2)内的压力平稳后，用真空计B(8)测量真空容器A(2)内的压力，记为起始压力p₁；

步骤6，开启真空阀门A(4)，容器A(2)内的气体扩散至容器B(5)，待测量系统压力平稳后，用真空计B(8)测量真空容器A(2)内的压力，记为终止压力p₂；

步骤7，容器A(2)的容积V₁与容器B(5)的容积V₂的容积比为：V1V2=p1-p0p2-p0-1.]]>

2.如权利要求1所述的低压力环境中真空容器容积比的测量方法，其特征在于，真空泵(9)首次抽气或者不能将测量系统抽至本底压力时，对测量系统进行烘烤，烘烤温度为200～250℃，并维持24～48h，在烘烤的同时采用真空泵(9)进行抽气。

3.如权利要求1所述的低压力环境中真空容器容积比的测量方法，其特征在于，非蒸散性吸气泵(7)首次使用或者其抽气效率降低时，需要对非蒸散性吸气泵(7)进行激活，具体方法为：在测量系统烘烤维持阶段，打开非蒸散型吸气剂泵(7)的真空阀门B(6)，开启非蒸散型吸气剂泵(7)，运行2～4h后停止，然后关闭真空阀门B(6)。

4.如权利要求1所述的低压力环境中真空容器容积比的测量方法，其特征在于，所述步骤3、步骤5和步骤6中，当气体压力变化小于0.01％时，认为压力稳定。

5.如权利要求1所述的低压力环境中真空容器容积比的测量方法，其特征在于，重复步骤2～步骤7，获得多个取的多次测量的平均值作为最终的容积比。