[发明专利]检查装置

权利要求书

1.一种检查装置，其中，

所述检查装置具备：

移动部，其能够在检查基板的检查位置与装卸该基板的装卸位置之间移动；

按压部，其从处于该检查位置的该移动部的上侧下降至下降位置，将该基板按压至该移动部；

定位部，其在该按压部将该基板按压至该移动部时将该移动部至少在该移动部的移动方向上相对于该按压部定位；

下降部，其在所述移动部处于所述检查位置的状态下相对于处于所述下降位置的按压部独立地从所述检查位置的上侧下降，并且该下降部具有第1接触部，通过使该下降部下降，从而使该第1接触部与配置在所述基板的上表面上的第1被接触部电接触；以及

上升部，其在所述移动部处于所述检查位置的状态下相对于处于所述下降位置的按压部独立地从所述检查位置的下侧上升，并且该上升部具有第2接触部，通过使该上升部上升，从而使该第2接触部与配置在所述基板的下表面上的第2被接触部电接触。

2.根据权利要求1所述的检查装置，其中，

所述检查装置具备：

第1下降机构，其使所述按压部下降至所述下降位置；

上升机构，其在所述按压部下降至所述下降位置后使所述上升部上升而使所述第2接触部与所述第2被接触部电接触；以及

第2下降机构，其在所述第2接触部与所述第2被接触部接触的状态下使所述下降部下降而使所述第1接触部与所述第1被接触部电接触。

3.根据权利要求2所述的检查装置，其中，

所述检查装置具备定位部件，所述定位部件设置于所述下降部和所述上升部中的一方，所述第2下降机构使所述下降部下降而使所述定位部件被插入所述下降部和所述上升部中的另一方，相对于所述下降部对所述上升部进行定位。

4.根据权利要求2所述的检查装置，其中，

所述检查装置具备定位部件，所述定位部件设置于所述下降部，所述第2下降机构使所述下降部下降而使所述定位部件被插入所述基板中，相对于所述基板对所述下降部进行定位。

5.根据权利要求2所述的检查装置，其中，

所述检查装置具备定位部件，所述定位部件设置于所述上升部，所述上升机构使所述上升部上升而使所述定位部件被插入所述基板中，相对于所述基板对所述上升部进行定位。

6.根据权利要求1所述的检查装置，其中，

所述检查装置具备支承体，该支承体支承所述移动部、所述下降部以及所述上升部，

所述移动部、所述下降部以及所述上升部朝向与面对所述检查位置的所述装卸位置相反的一侧相对于所述支承体装卸。

7.根据权利要求1～6中的任意一项所述的检查装置，其中，

所述检查装置具备检测部，所述检测部配置于所述装卸位置的下侧，对所述基板相对于所述移动部的翘起进行检测。

8.根据权利要求7所述的检查装置，其中，

所述检查装置具备移动机构，在所述基板相对于所述移动部的翘起处于允许范围内的情况下，该移动机构使所述移动部向所述检查位置移动。