[发明专利]检查装置

说明书

本发明提供检查装置，检查装置具备：移动部，其能够在检查基板的检查位置与装卸基板的装卸位置之间移动；按压部，其从处于检查位置的移动部的上侧下降至下降位置，将基板按压至移动部；定位部，其在按压部将基板按压至移动部时将移动部至少在其移动方向上相对于按压部定位；下降部，其在移动部处于检查位置的状态下相对于处于下降位置的按压部独立地从检查位置的上侧下降，并且下降部具有第1接触部，第1接触部与配置在基板的上表面上的第1被接触部电接触；以及上升部，其在移动部处于检查位置的状态下相对于处于下降位置的按压部独立地从检查位置的下侧上升，并且上升部具有第2接触部，第2接触部与配置在基板的下表面上的第2被接触部电接触。

技术领域

本发明涉及检查装置。

背景技术

日本国特开2000-199780号公报公开了这样的检查装置：通过使上部单元下降并使上部单元的探头与印刷基板的上表面接触，同时，使下部单元上升并使下部单元的探头与印刷基板的下表面接触，来进行印刷基板的检查。

在进行基板的检查的检查装置中，在将基板设置于移动部的情况下，由于移动部能够移动，因此，在按压部将基板按压至移动部时，存在基板和按压部发生位置偏移的情况。

发明内容

本发明的目的在于，在将基板设置于能够移动的移动部上的结构中，与在按压部将基板按压至移动部时移动部移动自如的情况相比，能够抑制在按压部将基板按压至移动部时的按压部与基板之间的位置偏移。

根据本发明的第1方案，提供一种检查装置，该检查装置具备：移动部，其能够在检查基板的检查位置与装卸该基板的装卸位置之间移动；按压部，其从处于该检查位置的该移动部的上侧下降至下降位置，将该基板按压至该移动部；定位部，其在该按压部将该基板按压至该移动部时将该移动部至少在该移动部的移动方向上相对于该按压部定位；下降部，其在所述移动部处于所述检查位置的状态下相对于处于所述下降位置的按压部独立地从所述检查位置的上侧下降，并且该下降部具有第1接触部，该第1接触部与配置在所述基板的上表面上的第1被接触部电接触；以及上升部，其在所述移动部处于所述检查位置的状态下相对于处于所述下降位置的按压部独立地从所述检查位置的下侧上升，并且该上升部具有第2接触部，该第2接触部与配置在所述基板的下表面上的第2被接触部电接触。

根据本发明的第2方案，所述检查装置具备：第1下降机构，其使所述按压部下降至所述下降位置；上升机构，其在所述按压部下降至所述下降位置后使所述上升部上升而使所述第2接触部与所述第2被接触部电接触；以及第2下降机构，其在所述第2接触部与所述第2被接触部接触的状态下使所述下降部下降而使所述第1接触部与所述第1被接触部电接触。

根据本发明的第3方案，所述检查装置具备定位部件，所述定位部件设置于所述下降部和所述上升部中的一方，所述第2下降机构使所述下降部下降而使所述定位部件被插入所述下降部和所述上升部中的另一方，相对于所述下降部对所述上升部进行定位。

根据本发明的第4方案，所述检查装置具备定位部件，所述定位部件设置于所述下降部，所述第2下降机构使所述下降部下降而使所述定位部件被插入所述基板中，相对于所述基板对所述下降部进行定位。

根据本发明的第5方案，所述检查装置具备定位部件，所述检查装置具备定位部件，所述定位部件设置于所述上升部，所述上升机构使所述上升部上升而使所述定位部件被插入所述基板中，相对于所述基板对所述上升部进行定位。

根据本发明的第6方案，所述检查装置具备支承体，该支承体支承所述移动部、所述下降部以及所述上升部，所述移动部、所述下降部以及所述上升部朝向与面对所述检查位置的所述装卸位置相反的一侧相对于所述支承体装卸。

根据本发明的第7方案，所述检查装置具备检测部，所述检测部配置于所述装卸位置的下侧，对所述基板相对于所述移动部的翘起进行检测。