[发明专利]一种静电吸盘装置

权利要求书

1.一种静电吸盘装置，包括：静电吸盘、用于支撑所述静电吸盘的支撑结构以及用于测量静电吸盘温度的光纤温度传感器，其特征在于，所述光纤温度传感器包括传输光纤，所述传输光纤包括相互分离的第一传输光纤和第二传输光纤；

所述静电吸盘上设置有用于安装所述第一传输光纤的第一安装结构；

所述支撑结构上设置有用于安装所述第二传输光纤的第二安装结构；

当将所述静电吸盘组装到所述支撑结构上时，安装有第一传输光纤的所述静电吸盘的下表面与安装有第二传输光纤的所述支撑结构的上表面相对放置，所述第一传输光纤的第一端与所述第二传输光纤的第一端对接；

其中，所述第一传输光纤的第一端位于所述静电吸盘的下表面的一侧；所述第二传输光纤的第一端位于所述支撑结构的上表面的一侧。

2.根据权利要求1所述的静电吸盘装置，其特征在于，所述第一传输光纤的第一端与所述静电吸盘的下表面相平，所述第二传输光纤的第一端与所述支撑结构的上表面相平。

3.根据权利要求1所述的静电吸盘装置，其特征在于，所述第一传输光纤的第一端从所述静电吸盘的下表面伸出第一长度，所述第二传输光纤的第一端从所述支撑结构的上表面缩进第一长度。

4.根据权利要求3所述的静电吸盘装置，其特征在于，所述第一长度不大于2毫米。

5.根据权利要求1所述的静电吸盘装置，其特征在于，所述第一传输光纤的第一端从所述静电吸盘的下表面缩进第二长度，所述第二传输光纤的第一端从所述支撑结构的上表面缩进第二长度。

6.根据权利要求5所述的静电吸盘装置，其特征在于，所述第二长度不大于2毫米。

7.根据权利要求1-6任一项所述的静电吸盘装置，其特征在于，所述第一传输光纤和所述第二传输光纤的材料不同。

8.根据权利要求7所述的静电吸盘装置，其特征在于，用于制作所述第一传输光纤的材料能够承受静电吸盘工作时的温度，用于制作所述第二传输光纤的材料能够承受所述支撑结构工作时的温度。

9.根据权利要求1-6任一项所述的静电吸盘装置，其特征在于，所述静电吸盘的下表面侧设置有第一定位结构，所述支撑结构的上表面侧设置有第二定位结构，当组装所述静电吸盘和所述支撑结构时，所述第一定位结构和所述第二定位结构适配对准时，所述第一传输光纤的第一端和所述第二传输光纤的第一端对接。

10.一种静电吸盘装置，其特征在于，包括：静电吸盘、用于支撑所述静电吸盘的支撑结构以及用于测量静电吸盘温度的光纤温度传感器，其中，所述光纤温度传感器包括传输光纤，所述传输光纤包括第一传输光纤段和第二传输光纤段；所述第一传输光纤段的材料与所述第二传输光纤段的材料不同；

当将所述静电吸盘组装到所述支撑结构上时，所述第一传输光纤段安装在所述静电吸盘上，所述第二传输光纤段安装在所述支撑结构上。

11.根据权利要求10所述的静电吸盘装置，其特征在于，用于制作所述第一传输光纤的材料能够承受静电吸盘工作时的温度，用于制作所述第二传输光纤的材料能够承受所述支撑结构工作时的温度。