[发明专利]高洁净真空位移台在审
| 申请号： | 201510428821.X | 申请日： | 2015-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN105171701A | 公开（公告）日： | 2015-12-23 |
| 发明（设计）人： | 朱政豪;庞向阳;时双;郝艳飞 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | B25H1/00 | 分类号： | B25H1/00 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯;张宁展 |
| 地址： | 201800 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 洁净 真空 位移 | ||
【权利要求书】：
1.一种高洁净真空位移台，包括真空电机(1)、中间法兰(2)、电机安装板(3)、底座(4)、侧罩(5)、滑座(6)、密封条(7)、外罩(8)、端盖板(9)和滚珠丝杆(10)，所述的底座(4)、侧罩(5)、密封条(7)和外罩(8)形成密闭腔，其特征在于：在密闭腔内安装有吸气剂(11)。
2.根据权利要求1所述的高洁净真空位移台，其特征在于：所述的吸气剂(11)采用非蒸散吸气材料。
3.根据权利要求1或2所述的高洁净真空位移台，其特征在于：在所述的底座(4)上放置绝热块(13)，在绝热块(13)上设有电阻丝(14)，该电阻丝(14)的两端与电源相通，所述的非蒸散吸气材料置于所述的电阻丝(14)上。
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