[发明专利]一种阵列基板及其制作方法

说明书

本发明提供一种阵列基板及其制作方法，所述方法包括：在衬底基板上制作开关阵列层；在所述开关阵列层上形成色阻层，所述色阻层包括红色彩膜、绿色彩膜、蓝色彩膜，所述色阻层上形成有过孔；在色阻层上形成透明导电层；以及在所述透明导电层上形成遮光层。本发明的阵列基板及其制作方法，通过在制作透明导电层之后制作黑色矩阵，防止同时在黑色矩阵和色阻层上制作过孔时，容易造成孔的尺寸偏差，避免透明导电层发生破裂。

【技术领域】

本发明涉及液晶显示器技术领域，特别是涉及一种阵列基板及其制作方法。

【背景技术】

如图1所示，现有的阵列基板：譬如为BOA(BM on Array)基板，BOA基板是在阵列基板上制作彩色滤光膜和黑色矩阵，阵列基板包括：衬底基板11、第一金属层12位于衬底基板11上，包括栅极；栅绝缘层13部分位于第一金属层12上，用于隔离所述第一金属层12和有源层14；有源层14部分位于栅绝缘层13上，用于形成沟道；第二金属层15位于有源层14上，包括源极、漏极；第二绝缘层16，位于第二金属层15上；色阻层17，位于所述第二绝缘层16上，色阻层和遮光层上形成有过孔18；以及黑色矩阵层19位于色阻层17上，透明导电层20部分位于黑色矩阵层19上。

为了使透明导电层与第二金属层接触，需要分别在色阻层和遮光层上设置过孔，且在色阻层设置过孔后，使得孔内的遮光层比较厚，不利于遮光层的过孔的制作，其次会使得色阻层上的孔和遮光层上孔的位置出现偏差，使得后续的透明导电层容易产生裂缝，影响显示效果。

因此，有必要提供一种阵列基板及其制作方法，以解决现有技术所存在的问题。

【发明内容】

本发明的目的在于提供一种阵列基板及其制作方法，以解决现有技术中遮光层和色阻层的过孔位置容易发生偏差，容易使得透明导电层产生裂缝，显示效果差的技术问题。

为解决上述技术问题，本发明构造了一种阵列基板的制作方法，其包括：

在衬底基板上制作开关阵列层，所述开关阵列层包括第一金属层、有源层、第二金属层；其中对所述第一金属层进行图形化处理形成多个栅极，对所述第二金属层进行图形化处理形成多个源极和多个漏极，所述有源层用于形成沟道；

在所述开关阵列层上形成色阻层，所述色阻层包括红色彩膜、绿色彩膜、蓝色彩膜，所述色阻层上形成有过孔；

在所述色阻层上形成透明导电层；以及

在所述透明导电层上形成遮光层。

在本发明的阵列基板的制作方法中，在所述透明导电层上方的过孔内也填充有所述遮光层。

在本发明的阵列基板的制作方法中，所述遮光层为黑色矩阵。

在本发明的阵列基板的制作方法中，所述方法还包括：在所述遮光层上形成第一绝缘层。

在本发明的阵列基板的制作方法中，所述第一绝缘层的厚度小于等于0.2微米。

在本发明的阵列基板的制作方法中，所述透明导电层通过所述过孔与所述第二金属层连接。

本发明还提供一种阵列基板，其包括：

衬底基板；

开关阵列层，位于所述衬底基板上，所述开关阵列层包括第一金属层、有源层、第二金属层；其中所述第一金属层包括多个栅极，所述第二金属层包括多个源极和多个漏极，所述有源层用于形成沟道；

色阻层，位于所述开关阵列层上，所述色阻层包括红色彩膜、绿色彩膜、蓝色彩膜，所述色阻层上形成有过孔；

透明导电层，位于所述色阻层上；以及

遮光层，位于所述透明导电层上。