[发明专利]一种多晶硅引晶方法

说明书

技术领域

发明涉及多晶硅生产技术领域，尤其涉及一种多晶硅引晶方法。

背景技术

多晶硅太阳能电池是一种新型的环保能源，但多晶硅电池转换效率较低，生产成本较高，其中电池转换效率多是在硅晶片的生长过程中造成的。多晶硅的生长主要是通过硅料在多晶硅铸锭炉中的定向生长完成的，在生长过程中，引晶颗粒易与石英坩埚基体发生粘连，导致多晶硅铸锭产生较强的应力，并易引发裂纹。

发明内容

发明的目的在于提供一种多晶硅引晶方法。

为达此目的，发明采用以下技术方案：

一种多晶硅引晶方法，包括以下步骤：

(1).在引晶颗粒外包裹一层氮化硅涂层形成新的引晶颗粒；

(2).把步骤(1)中形成的新的引晶颗粒均匀的铺设到坩埚底部；

(3).把经过步骤(2)处理后的坩埚放入铸锭炉中，进行多晶硅的铸锭。

发明的有益效果：本发明在原有多晶硅铸锭的基础上，通过把引晶颗粒的外表面包裹一层氮化硅涂层，大大的改善了引晶颗粒与坩埚底部接触易发生粘连的问题。

具体实施方式

下面通过具体实施方式来进一步说明发明的技术方案。

一种多晶硅引晶方法，包括以下步骤：

(1).在引晶颗粒外包裹一层氮化硅涂层形成新的引晶颗粒；

(2).把步骤(1)中形成的新的引晶颗粒均匀的铺设到坩埚底部；

(3).把经过步骤(2)处理后的坩埚放入铸锭炉中，进行多晶硅的铸锭。

实施例1

本实施例中选用硅颗粒作为引晶颗粒，硅颗粒的大小为22目，把硅颗粒放入到氮化硅溶液中，放置一定的时间后取出烘干，硅颗粒外的氮化硅涂层厚度为50μm，包裹氮化硅涂层后的硅颗粒按照25mg/cm²均匀分布到坩埚底部。

采用包裹氮化硅涂层后的硅颗粒与普通硅颗粒分别进行铸锭，生产条件相同，即投料量均为850kg，硅料组成方案相同，铸锭工艺配方相同，铸锭炉台相同，对生产出的硅晶片以及粘连状况进行检测，检测结果对比如下：

通过对比发现，采用包裹氮化硅涂层后的硅颗粒作为新的引晶颗粒，生产出的硅晶体品质较高，引晶颗粒与坩埚的粘连问题得到很好的改善。

显然，发明的上述实施例仅仅是为了清楚说明发明所作的举例，而并非是对发明的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在发明权利要求的保护范围之内。