[发明专利]一种化学溶液沉积法制备Sm2O3薄膜的方法

权利要求书

1.一种化学溶液沉积法制备Sm₂O₃薄膜的方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)将玻璃基片清洁干净备用；

2)将分析纯的Sm(NO₃)₃·6H₂O溶解于乙二醇甲醚溶剂中，配制成Sm³⁺浓度为0.1～0.5mol/L的溶液；待溶解完全后，向其中加入醋酸酐溶剂，室温下搅拌均匀形成透明均匀稳定的淡黄色溶液；

3)将干净的玻璃基片置于匀胶机上，滴加适量配制好的前驱液于基板表面，并打开匀胶机以旋涂镀膜至均匀；

4)将匀胶后得到的湿膜放在烤胶板上烘干后放入小型快速退火炉内于200～500℃进行退火；

5)退火完成后随炉冷却至室温，再重复旋涂退火工艺，直至Sm₂O₃薄膜达到所需厚度；

乙二醇甲醚与醋酸酐体积比控制在(3～4):1；

退火时保温2～5h后随炉冷却至室温。

2.根据权利要求1所述的化学溶液沉积法制备Sm₂O₃薄膜的方法，其特征在于：步骤3)中匀胶机的转速为3000～4000r/min；匀胶时间为20s。

3.根据权利要求1所述的化学溶液沉积法制备Sm₂O₃薄膜的方法，其特征在于，步骤1)具体包括以下步骤：将玻璃基片分别在去离子水、丙酮、乙醇和去离子水中超声水洗10min，并封存于无水乙醇中备用。

4.根据权利要求1所述的化学溶液沉积法制备Sm₂O₃薄膜的方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)将玻璃基片分别在去离子水、丙酮、乙醇和去离子水中超声水洗10min，并封存于无水乙醇中备用；

2)将分析纯的Sm(NO₃)₃·6H₂O溶解于40ml的乙二醇甲醚溶剂中，配制成Sm³⁺浓度为0.3mol/L的溶液；待溶解完全后，向其中加入醋酸酐溶剂，室温下搅拌4h形成透明均匀稳定的淡黄色溶液；乙二醇甲醚与醋酸酐体积比控制在3:1；

3)将步骤1)清洗干净的玻璃基片置于匀胶机上，滴加适量配制好的前驱液于基板表面，并打开匀胶机以4000r/min的速度旋涂镀膜20s左右至均匀；

4)将步骤3)匀胶后得到的湿膜放在烤胶板上100℃烘烤30min后放入小型快速退火炉内退火，退火温度为300℃，保温4h后随炉冷却至室温；

5)再重复旋涂退火工艺，直至Sm₂O₃薄膜达到所需厚度。