[发明专利]全自动IC电信号测试装置及测试方法

说明书

技术领域

本发明涉及半导体器件测试领域，特别地涉及一种全自动IC电信号测试装置以及测试方法。

背景技术

众所周知，波形处理装置包括根据数字控制信号使测试信号延迟的可变延迟模块。跳跃施加控制模块包括产生随机数据的随机数数据产生器以及产生正弦波数据的正弦波产生器。而且，跳跃施加控制模块根据自随机数数据产生器及正弦波产生器输出的数据，输出表示随机跳跃的数字控制信号及表示正弦波跳跃的数字控制信号。可以将施加了随机跳跃或正弦波跳跃的测试信号赋予IC器件，以对该IC器件的跳跃性能进行测试。

然而，对于在器件之间传输的传输信号所加的跳跃，众所周知的是由传输线路损耗产生的跳跃以及由符号间的干扰所产生的跳跃等。较理想的是，电信号测试装置可以对器件输入施加了由传输线路损耗等引起的跳跃的测试信号，并对该器件的跳跃性能进行测试。然而存在如下的问题：由传输线路损耗引起的跳跃的大小会因在器件之间传输的传输信号的波形图像而变得不同。

因此，本说明书中所包含的发明一个方面的目的在于提供一种能够解决上述技术问题的全自动IC电信号测试装置以及测试方法。该目的由权利要求书中的独立权利要求所述的特征组合来实现。并且，从属权利要求规定了本发明的更为有利的具体例。

发明内容

为了解决上述问题，本发明的目的之一是提供一种全自动IC电信号测试装置，其是对IC器件进行测试的全自动IC电信号测试装置，包括：图像生成模块，产生用于规定应供给至IC器件的测试信号的测试图像；时序信号生成模块，产生表示将测试信号供给至IC器件的时序的时序信号；滤波模块，对测试图像进行滤波，输出表示与测试图像相对应控制信号；波动处理模块，根据控制信号而使时序信号延迟，借此将跳跃施加至时序信号；以及波形图，以施加了跳跃的时序信号为基准，生成已形成了测试图像的测试信号。

本发明目的之一的技术方案通过以下内容来实现，所述全自动IC电信号测试装置包括：信号输出模块，将测试信号输出至上述IC器件；信号输入模块，输入根据测试信号而自IC器件输出的输出信号；图像生成模块，产生用于规定应自IC器件输出的输出信号的预期值图像；时序信号生成模块，产生表示对预期值图像与输出信号进行比较的时序的选通信号；滤波模块，对预期值图像进行滤波，输出表示与预期值图像相对应控制信号；波动处理模块，根据控制信号而使选通信号延迟，以此使跳跃施加至选通信号；以及比较模块，以施加了跳跃的选通信号的时序，对输出信号与预期值图像进行比较。

另外，本发明的目的之二是提供一种测试方法，其是对IC器件进行测试的测试方法，包括：产生测试图像的阶段，该测试图像用于规定应供给至IC器件的测试信号；产生时序信号的阶段，该时序信号表示将测试信号供给至IC器件的时序；对测试图像进行滤波，并输出表示与测试图像相对应控制信号的阶段；根据控制信号而使时序信号延迟，借此来将跳跃施加至时序信号的阶段；以及以施加了跳跃的时序信号为基准，生成已形成了测试图像的测试信号的阶段。

本发明目的之二的技术方案通过以下内容来实现，所述IC器件进行测试的测试方法，包括：将测试信号输出至IC器件的阶段；输入输出信号的阶段，该输出信号是根据测试信号而自IC器件输出的信号；产生预期值图像的阶段，该预期值图像用于规定应自IC器件输出的输出信号；产生选通信号的阶段，该选通信号表示对预期值图像与输出信号进行比较的时序；对预期值图像进行滤波，并输出表示与预期值图像相对应控制信号的阶段；根据控制信号而延迟选通信号，以此使跳跃施加至选通信号的阶段；以及以施加了跳跃的选通信号的时序，对输出信号与预期值图像进行比较的阶段。

上述发明概要并未列举出本发明的所有必要特征，这些特征群的次组合也可以成为发明。

附图说明

图1与IC器件100一起表示本发明的实施方式涉及的全自动IC电信号测试装置20的构成。

图2表示本发明的实施方式的跳跃控制模块26以及波动处理模块28的构成。

图3表示本发明的实施方式的可变延迟模块42的构成的一例。

图4表示经过传输线路前的逻辑反转频率高的信号波形以及经过传输线路后的逻辑反转频率高的信号波形。

图5表示经过传输线路前的逻辑反转频率低的信号波形以及经过传输线路后的逻辑反转频率低的信号的波形。