[发明专利]一种堵孔处理装置及处理方法

说明书

技术领域

本发明涉及蒸镀技术领域，尤其涉及一种堵孔处理装置及处理方法。

背景技术

目前，蒸镀机所使用的蒸发源是坩埚，可使材料直接从坩埚蒸出，并经由坩埚上端的出气口出来。但是，材料在烧灼的过程中，常会出现因材料在出气口处凝结而最终使出气口被堵住的情况。出现这种情况时，一般会表现为：在确定蒸发源内还有材料的情况下，其蒸发速率会逐渐减小至零，而温度和功率却一直在上升。稍等一些时间后也许会通过坩埚内积聚的气体使坩埚内部压强增大，进而将堵口处的材料冲开。但是，当温度接近材料裂解前的警报温度时，材料还没有冲开堵口就只能降温开腔，进行人工处理堵孔。

而人工处理堵孔的方法总结为：降温-开腔-处理-抽真空-升温。可见：这一套流程必须在开腔的情况下才能进行，对正常蒸镀的制程造成影响，而且，整个处理耗时长，至少需要4-6小时，严重影响设备使用效率，甚至会造成严重的产能损失。

发明内容

(一)要解决的技术问题

本发明要解决的技术问题是现有技术中需要在开腔的情况下才能处理堵孔，对正常蒸镀的制程造成影响，耗时长且效率低的问题。

(二)技术方案

为了解决上述技术问题，本发明提供一种堵孔处理装置包括：疏通单元、支撑单元及驱动单元；所述疏通单元设置于支撑单元上，所述驱动单元用于驱动所述疏通单元绕所述支撑单元转动，以使所述疏通单元的一端插入至待处理坩埚的堵孔内。

其中，所述疏通单元包括依次连接的第一连接杆、第二连接杆及第三连接杆，所述第一连接杆与驱动单元连接；所述第二连接杆与支撑单元转动连接；所述第三连接杆位于待处理坩埚的上方，且朝向所述堵孔的方向延伸设置。

其中，所述第一连接杆、第二连接杆及第三连接杆依次连接成折线形。

其中，所述第一连接杆、第二连接杆及第三连接杆依次连接成S形。

其中，所述支撑单元包括支撑杆，所述支撑杆的一端与疏通单元转动连接，另一端固定于待处理坩埚的外壁上。

其中，所述支撑杆的一端通过转轴与所述疏通单元转动连接。

其中，所述支撑杆的一端通过铰链与所述疏通单元转动连接。

其中，该堵孔处理装置还包括控制单元和传感器，所述传感器设置于待处理坩埚内部，用于检测蒸镀速率并反馈至所述控制单元；所述控制单元与所述驱动单元电连接。

其中，所述驱动单元为气缸。

本发明还提供一种坩埚堵孔处理方法，包括如下步骤：

S1、通过传感器检测待处理坩埚内的蒸镀速率，并反馈至控制单元；

S2、控制单元在当反馈的蒸镀速率为零时向驱动单元发出动作指令；

S3、驱动单元带动疏通单元绕支撑单元转动，并使疏通单元的一端压入堵孔内进行疏通。

(三)有益效果

本发明的上述技术方案具有以下有益效果：本发明提供一种堵孔处理装置，通过驱动单元驱动疏通单元绕支撑单元转动，从而完成在不开腔的情况下自动疏通堵孔的目的，不会对正常蒸镀的制程造成影响，而且，该堵孔处理装置操作方便，处理耗时短，有效提高堵孔的处理效率。

附图说明

图1为本发明实施例堵孔处理装置的初始状态示意图；

图2为本发明实施例堵孔处理装置的动作状态示意图；

图3为本发明实施例堵孔处理装置的疏通状态示意图；

图4为本发明实施例堵孔处理装置的结束状态示意图；

图5为本发明实施例坩埚的结构示意图；

图6为本发明实施例堵孔处理方法的原理框图。

其中，1：疏通单元；2：支撑单元；3：驱动单元；4：坩埚；5：堵孔；6：加热源；7：加热丝；11：第一连接杆；12：第二连接杆；13：第二连接杆。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不能用来限制本发明的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。