[发明专利]一种小型真空蒸镀仪

权利要求书

1.一种小型真空蒸镀仪，包括设备整体机架，蒸镀腔室，真空系统，冷却系统，其特征在于：所述蒸镀腔室包括底部的蒸发区，及设置于蒸发区正上方的待加工蒸镀区，所述蒸发区包括置于蒸镀腔室底板上的蒸发电极、相邻的蒸发电极之间的电极隔板、及设置于有机蒸发电极内的有机蒸发坩埚；所述待加工蒸镀区由上至下依此包括样品盘、掩膜盘及蒸发挡板；所述蒸发电极包括至少两个有机蒸发电极及一对金属蒸发电极，每个所述有机蒸发电极与一对金属蒸发电极通过电极隔板间隔，且在蒸镀腔室底板上围设成一圆周；

所述样品盘上开设有用于安装蒸镀样片用的方形孔，所述掩膜盘上方固定有具有图案的掩膜板。

2.根据权利要求 1 所述的一种小型真空蒸镀仪，其特征在于：所述掩膜板与掩膜盘通过磁力连接固定。

3.根据权利要求 1 所述的一种小型真空蒸镀仪，其特征在于：所述蒸镀腔室的一侧设置有与蒸镀腔室密封连接的闭合门，所述闭合门上开设有两个可视窗。

4.根据权利要求 1 所述的一种小型真空蒸镀仪，其特征在于：所述蒸镀腔室上还连接有真空系统及冷却系统。

5.根据权利要求 1 所述的一种小型真空蒸镀仪，其特征在于：所述有机蒸发电极为筒状，通过安装盘安装于蒸镀腔室的底部，所述有机蒸发电极设置有八个。

6.根据权利要求 1 所述的一种小型真空蒸镀仪，其特征在于：所述金属蒸发电极设置有一对，共用一组负极，并通过内部设置有橡胶圈的绝缘环与蒸镀腔室绝缘，所述金属蒸发电极的一端设置于蒸镀腔室，另一端设置于蒸镀腔室外。