[发明专利]一种小型真空蒸镀仪

说明书

技术领域

本发明涉及一种小型真空蒸镀仪，尤其适用于有机发光（OLED）器件的生产和制造，属于机械技术领域。

背景技术

真空热蒸发镀膜技术被广泛应用于有机EL (Electro Luminescence) 显示器等平板显示器的制造领域，该技术在相应薄膜器件产业化中的应用也十分广泛。其基本原理是利用加热的手段使待形成薄膜的原材料受热蒸发，由凝聚相变成气相，原材料的分子或原子从表面气化逸出，形成蒸汽流，入射到基板（衬底）表面，最终蒸发的分子或原子在基板（衬底）上沉积，凝结形成固态薄膜。

目前，这类真空热蒸发镀膜仪器主要有两大类，一是以产业为主的大中型的生产型设备，另外则是以进一步发展有机发光显示技术的科研学术型设备。而在科研学术型设备中，当前主流的是配有手套箱的实验室设备，这类设备往往因使用者的具体要求和习惯不同而存在不同的结构，但大多都以低压大电流控制为主，体积相对较大，成本较高，且标准化程度低。

发明内容

鉴于上述现有技术存在的缺陷，本发明的目的是提出一种小型真空蒸镀仪。

本发明的目的，将通过以下技术方案得以实现：

一种小型真空蒸镀仪，包括设备整体机架，蒸镀腔室，真空系统，冷却系统，所述蒸镀腔室包括底部的蒸发区，及设置于蒸发区正上方的待加工蒸镀区，所述蒸发区包括置于蒸镀腔室底板上的蒸发电极、相邻的蒸发电极之间的电极隔板、及设置于蒸发电极内的有机蒸发坩埚；所述待加工蒸镀区由上至下依此包括样品盘、掩膜盘及蒸发挡板。

优选地，所述蒸发电极包括至少两个有机蒸发电极及一对金属蒸发电极，每个所述有机蒸发电极与一对金属蒸发电极通过电极隔板间隔，且在蒸镀腔室底板上围设成一圆周。

优选地，所述样品盘上开设有用于安装蒸镀样片用的方形孔，所述掩膜盘上方固定有具有图案的掩膜板。

优选地，所述掩膜板与掩膜盘通过磁力连接固定。

优选地，所述蒸镀腔室的一侧设置有与蒸镀腔室密封连接的闭合门，所述闭合门上开设有两个可视窗。

优选地，所述蒸镀腔室上还连接有真空系统及冷却系统。

优选地，所述有机蒸发电极为筒状，设置有八个。

优选地，所述金属蒸发电极设置有一对，共用一组负极，并通过内部设置有橡胶圈的绝缘环与蒸镀腔室绝缘。

本发明突出效果为：体积较小，简洁明了，功能齐全，性价比高，可实现大众化的应用；控制系统实现了整个装置的工作，设备的标准化程度相较于其他设备而言明显提高；同时也满足了高等学校的日常教学和研究。

以下便结合实施例附图，对本发明的具体实施方式作进一步的详述，以使本发明技术方案更易于理解、掌握。

附图说明

图1是本装置的立体结构示意图。

图2是本装置的蒸发腔体内部结构示意图。

具体实施方式

如图1至图2所示，本发明揭示了一种小型真空蒸镀仪，包括前部设置有电源系统的整体机架1，整体机架由工业铝型材搭建而成，四周安装铝质围板，前板安装操作面板，顶部板上装有散热风扇，侧板上开有通风散热的半开孔，底下安装万向脚轮，可以随意移动。

整体机架上设置有蒸镀腔室2，所述蒸镀腔室包括底部的蒸发区，及设置于蒸发区正上方的待加工蒸镀区。所述蒸镀腔室是用不锈钢焊接而成的矩形腔室，外表面拉丝抛光，内表面电解抛光，底板的外侧面开有螺纹孔，安装到所述设备机架的台面上。所述蒸镀腔的主腔体上开设有抽气口等KF，CF标准接口，用于安装其它功能性部件。

所述蒸发区包括置于蒸镀腔室底板上的蒸发电极、所述蒸发电极包括至少两个有机蒸发电极5及一对金属蒸发电极4。所述蒸发电极的一端穿设出蒸镀腔室向外，与金属蒸发电源相联。作为最佳的实施例，所述有机蒸发电极5为筒状，设置有8个。为了更高效的蒸发，且为了避免在蒸发时不同材料之间的污染，每个所述有机蒸发电极5与一对金属蒸发电极4通过电极隔板6间隔，且在蒸镀腔室底板上围设成一圆周。其中，一对金属蒸发电极4是一起设置于相邻的两块电极隔板6之间。

所述金属蒸发电极4共用一组负极，并通过内部设置有橡胶圈的绝缘环与蒸镀腔室绝缘。所述金属蒸发电极在蒸镀腔室内的一端用于安装蒸发舟，蒸发舟内放置所在蒸发的材料。金属蒸发电极在腔体的外面一端与金属蒸发电源相联。