[发明专利]液体喷出装置的制造方法以及液体喷出装置

权利要求书

1.一种液体喷出装置的制造方法，该液体喷出装置具备压电致动器和形成有与喷嘴连通的压力室的流路形成部件，

该压电致动器具有：以覆盖上述压力室的方式设置在上述流路形成部件的振动膜；与上述压力室对应地配置在上述振动膜的压电膜；配置在上述压电膜的上述振动膜侧的面的第一电极；配置在上述压电膜的与上述振动膜相反一侧的面的第二电极；覆盖上述压电膜的第一保护膜；与上述第二电极连接的布线；以及覆盖上述布线的第二保护膜，

其中，上述液体喷出装置的制造方法具有以下步骤：

第一保护膜成膜步骤，在上述振动膜上以覆盖上述压电膜以及上述第二电极的方式形成上述第一保护膜；

布线形成步骤，形成上述布线；

第二保护膜成膜步骤，在由上述第一保护膜覆盖上述压电膜以及上述第二电极的状态下，形成覆盖上述布线的上述第二保护膜；以及

第一除去步骤，在上述第二保护膜成膜步骤之后，除去上述第一保护膜的与上述第二电极重叠的部分。

2.如权利要求1所述的液体喷出装置的制造方法，其中，

在上述第二保护膜成膜步骤中，在形成上述第二保护膜时产生还原性物质。

3.如权利要求2所述的液体喷出装置的制造方法，其中，

在上述第二保护膜成膜步骤中，使用CVD法形成由氮化硅构成的上述第二保护膜。

4.如权利要求1～3中任意一项所述的液体喷出装置的制造方法，其中，

在上述第二保护膜成膜步骤中，以使上述第二保护膜还与上述第一保护膜的覆盖上述压电膜的部分重叠的方式形成上述第二保护膜，

上述液体喷出装置的制造方法还具备第二除去步骤，该第二除去步骤在上述第二保护膜成膜步骤后，除去上述第二保护膜的与上述压电膜重叠的部分，

通过上述第二除去步骤使上述第二保护膜之下的上述第一保护膜暴露之后，进行上述第一除去步骤，除去暴露的上述第一保护膜的覆盖上述第二电极的部分。

5.如权利要求1～3中任意一项所述的液体喷出装置的制造方法，其中，

在上述第二保护膜成膜步骤中，以使上述第二保护膜还与上述第一保护膜的覆盖上述压电膜的部分重叠的方式形成上述第二保护膜，

通过上述第一除去步骤，除去上述第一保护膜和上述第二保护膜的覆盖上述第二电极的部分。

6.一种液体喷出装置，具备流路形成部件以及设置在上述流路形成部件的压电致动器，该流路形成部件形成有与喷嘴连通的压力室，

上述压电致动器具备：

以覆盖上述压力室的方式设置在上述流路形成部件的振动膜；

与上述压力室对应地配置在上述振动膜的压电膜；

配置在上述压电膜的上述振动膜侧的面的第一电极；

配置在上述压电膜的与上述振动膜相反一侧的面的第二电极；

覆盖上述振动膜、上述压电膜和上述第二电极的第一保护膜；

配置在上述第一保护膜之上并与上述第二电极连接的布线；以及

覆盖上述第一保护膜和上述布线的第二保护膜，

在上述第一保护膜的与上述第二电极及上述压电膜重叠的部分形成有开口部，

在与上述压电膜重叠的区域内，上述第二保护膜的整个区域与上述第一保护膜重叠。

7.如权利要求6所述的液体喷出装置，其中，

上述流路形成部件具有多个上述压力室，

上述压电致动器具有分别与多个上述压力室对应的多个上述压电膜，

上述第一保护膜跨越多个上述压电膜而形成，

与1个上述压电膜的上述第二电极连接的上述布线，在其他的上述压电膜之间配置于上述第一保护膜之上，

配置在其他的上述压电膜之间的上述布线被上述第二保护膜覆盖。

8.如权利要求6所述的液体喷出装置，其中，

在与上述压力室重叠的区域内，上述第二保护膜的整个区域与上述第一保护膜重叠。

9.如权利要求6所述的液体喷出装置，其中，

上述第一保护膜以上述第二保护膜的整个区域与上述第一保护膜重叠的方式配置于上述第二保护膜之下。