[发明专利]用于MOCVD系统化学源蒸汽管路的粉尘颗粒收集器有效
| 申请号： | 201510466016.6 | 申请日： | 2015-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN105063574B | 公开（公告）日： | 2018-02-06 |
| 发明（设计）人： | 乔唐;陈一民;蔡渊;夏佑科;章曙东;姜平;甘新式;章鹏;陈加林;庄维伟;谢义元;孙山;其他发明人请求不公开姓名 | 申请（专利权）人： | 苏州新材料研究所有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44;C30B25/00;B01D45/02 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司32103 | 代理人： | 范晴 |
| 地址： | 215125 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 mocvd 系统 化学 蒸汽 管路 粉尘 颗粒 收集 | ||
【权利要求书】：
1.用于MOCVD系统化学源蒸汽管路的粉尘颗粒收集器，其特征在于：包括收集器本体（1），所述收集器本体（1）为上端具有进气管口（11）、下端密封的管道，所述进气管口（11）处密封固定有进气管（2），所述进气管（2）上端伸出所述收集器本体（1），所述进气管（2）下端延伸至所述收集器本体（1）内并临近所述收集器本体（1）底部，所述进气管（2）上端连接至蒸汽管路出口，所述进气管（2）下端设有开口（21），所述收集器本体（1）上端位于所述进气管（2）周围设有多个出气孔（12）；
所述收集器本体（1）的长度为8～15cm，所述进气管（2）下端距所述收集器本体（1）底部的距离为2～4cm；
所述出气孔（12）的孔径为0.5～1.5mm。
2.根据权利要求1所述的用于MOCVD系统化学源蒸汽管路的粉尘颗粒收集器，其特征在于：所述收集器本体（1）的长度为10cm，所述进气管（2）下端距所述收集器本体（1）底部的距离为3cm。
3.根据权利要求1所述的用于MOCVD系统化学源蒸汽管路的粉尘颗粒收集器，其特征在于：所述出气孔（12）的孔径为1mm。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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