[发明专利]低轮廓换能器模块

权利要求书

1.一种换能器结构，包括：

衬底；

微机电系统结构，其被设置在所述衬底的第一侧面之上；以及

盖，在所述衬底的所述第一侧面之上覆盖所述微机电系统结构；

所述衬底包括横向移位到在所述衬底的所述第一侧面上的所述盖的电接触部，其中所述电接触部电耦合到所述微机电系统结构。

2.如权利要求1所述的换能器结构，还包括：

穿孔，其穿过所述衬底形成并被布置成使得所述微机电系统结构的至少一部分跨越所述穿孔悬挂。

3.如权利要求2所述的换能器结构，

其中所述穿孔包括配置成将声波传导到所述微机电系统结构的声通信端口。

4.如权利要求1所述的换能器结构，还包括：

在所述盖中形成的空隙。

5.如权利要求1所述的换能器结构，

其中所述衬底的一部分横向延伸超过所述盖。

6.如权利要求1所述的换能器结构，

其中所述衬底和所述盖被布置成形成台阶状结构。

7.如权利要求1所述的换能器结构，

其中所述电接触部位于未被所述盖覆盖的所述衬底的所述第一侧面的一部分上。

8.如权利要求1所述的换能器结构，

其中所述盖包括金属化材料。

9.一种换能器结构，包括：

载体结构；

微机电系统结构，其被设置在所述载体结构之上；以及

盖，其限定所述微机电系统结构的背容积的至少一部分；

所述载体结构包括与所述盖在所述载体结构的相同侧面上横向移位到所述盖的电接触部，且所述电接触部电耦合到所述微机电系统结构。

10.如权利要求9所述的换能器结构，还包括：

穿孔，其穿过所述载体结构形成并被布置成使得所述微机电系统结构的至少一部分跨越所述穿孔悬挂。

11.如权利要求9所述的换能器结构，

其中所述盖包括模制引线框封装。

12.一种换能器结构，包括：

载体结构；

微机电系统结构，其被设置在所述载体结构的第一侧面之上；以及

背容积盖，其被设置在与所述载体结构的所述第一侧面相对的所述载体的第二侧面之上；

所述载体结构包括在所述载体结构的第二侧面上横向移位到所述背容积盖的电接触部，其中所述电接触部电耦合到所述微机电系统结构。

13.如权利要求12所述的换能器结构，还包括：

穿孔，其穿过所述载体结构形成并被布置成使得所述微机电系统结构的至少一部分跨越所述穿孔悬挂。

14.如权利要求13所述的换能器结构，

其中所述穿孔包括配置成允许在MEMS结构和由所述背容积盖围住的背容积之间的声通信的端口。

15.如权利要求12所述的换能器结构，

其中所述载体结构的一部分横向延伸超过所述背容积盖。

16.如权利要求12所述的换能器结构，

其中所述载体结构和所述背容积盖被布置成形成台阶状结构。

17.如权利要求12所述的换能器结构，

其中所述背容积盖包括模制引线框封装。

18.如权利要求12所述的换能器结构，

其中所述载体结构包括金属载体。

19.如权利要求12所述的换能器结构，

其中微机电系统结构包括微机电系统传感器和电耦合到所述微机电系统传感器并配置成处理由所述微机电系统传感器生成的至少一个信号的专用集成电路。