[发明专利]一种晶片测试方法在审
申请号: | 201510480909.6 | 申请日: | 2015-08-08 |
公开(公告)号: | CN105118795A | 公开(公告)日: | 2015-12-02 |
发明(设计)人: | 施勇 | 申请(专利权)人: | 海门市明阳实业有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 226141 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 晶片 测试 方法 | ||
1.一种晶片测试方法,其特征在于,该晶片测试方法包括如下步骤:
步骤1:根据晶片及探针卡的信息,计算同测时探针台系统托盘的最短走向,并储存数据;
步骤2:测试仪把走向方式的信息通过GPIB接口给探针台系统发送命令,控制探针台系统托盘的走向;
步骤3:探针台系统取得测试仪的走向信息后,探针台系统托盘移动到的相应位置,扎针,然后探针台系统给测试仪发送可以开始测试的信息;
步骤4:测试仪收到开始测试的命令后,测试程序开始测试,测试完毕后,把测试结果和一个移动位置测试结束的命令发送给探针台系统,探针台系统收到信息后,把针移开,等待接收下一个移动位置的坐标信息;
步骤5:探针台系统和测试仪重复步骤2至步骤4的操作,直到测试仪给探针台系统发送整枚晶片测试完毕的信息;
步骤6:对完成测试后的数据信息进行筛选和校准。
2.如权利要求1所述的晶片测试方法,其特征在于,步骤2中所述的测试仪把走向方式的信息通过GPIB接口给探针台系统发送命令具体为:探针台系统装载好晶片后,给测试仪发送等待接收坐标信息的命令;测试仪接收到可以发送坐标信息的命令后,根据测试的走向信息取得一个移动位置的坐标参数信息,然后测试仪把坐标信息通过GPIB接口发送给探针台系统。
3.如权利要求1所述的晶片测试方法,其特征在于,在步骤6中使用筛选侦测机构对所取得的测试数据进行筛选判断,并与一储存原始数据进行校准核对。
4.如权利要求3所述的晶片测试方法,其特征在于,当与储存原始数据进行校准核对后,发现数据显示异常的,重复测试动作,没有发现异常的,测试结束。
5.如权利要求3所述的晶片测试方法,其特征在于,该测试方法还提供一用于显示数据的显示屏。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于海门市明阳实业有限公司,未经海门市明阳实业有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201510480909.6/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造