[发明专利]太阳能电池的制造方法有效
申请号: | 201510484602.3 | 申请日: | 2011-11-15 |
公开(公告)号: | CN105118890A | 公开(公告)日: | 2015-12-02 |
发明(设计)人: | 町井洋一;吉田诚人;野尻刚;冈庭香;岩室光则;足立修一郎;织田明博;佐藤铁也;木泽桂子 | 申请(专利权)人: | 日立化成株式会社 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/0224 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 葛凡 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 太阳能电池 制造 方法 | ||
1.一种太阳能电池的制造方法,其具有以下工序:
对半导体基板的一个面上的部分区域给予含有含p型杂质的玻璃粉末及分散介质的第一用于形成p型扩散层的组合物的工序;
对所述半导体基板的给予所述第一用于形成p型扩散层的组合物的面上的、至少所述部分区域以外的区域,给予含有含p型杂质的玻璃粉末及分散介质、且p型杂质浓度比所述第一用于形成p型扩散层的组合物低的第二用于形成p型扩散层的组合物的工序;
对给予了所述第一用于形成p型扩散层的组合物及第二用于形成p型扩散层的组合物的半导体基板进行热处理而形成p型扩散层的工序;以及
在所述部分区域上形成电极的工序。
2.根据权利要求1所述的太阳能电池的制造方法,其中,所述p型杂质包含选自硼B、铝Al及Ga镓中的至少1种元素。
3.根据权利要求1或权利要求2所述的太阳能电池的制造方法,其中,所述含p型杂质的玻璃粉末含有:
选自B2O3、Al2O3及Ga2O3中的至少1种含p型杂质的物质;以及
选自SiO2、K2O、Na2O、Li2O、BaO、SrO、CaO、MgO、BeO、ZnO、PbO、CdO、V2O5、SnO、ZrO2、TiO2及MoO3中的至少1种玻璃成分物质。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的