[发明专利]气泡分离机构与气泡分离方法及其应用于含有药液供给的制程机台

权利要求书

1.一种气泡分离机构，其特征在于，包含有:

一腔体，该腔体具有至少一顶面、一底面与一侧面；

一活塞，设于该腔体中的该底面位置，该活塞具有一初始高度；

一第一通道，其一端耦接该腔体的该侧面并且相通于该腔体，该第一通道设有一第一切换阀，而该第一通道具有一第一高度；

一第三通道，其一端耦接该腔体的该侧面并且相通于该腔体，而该第三通道具有一第三高度；以及

一第二通道，其一端耦接该腔体的该顶面并且相通于该腔体，该第二通道设有一第二切换阀，该第二通道具有一第二高度，所述该第二高度为以平行地面为参考点至该第二通道与该腔体耦接位置的垂直轴向距离；

其中，该初始高度、该第一高度、该第二高度与该第三高度分别为该活塞顶部表面、该第一通道中心、该第二通道与该第三通道中心距离地面的垂直距离，而该第二高度大于该第一高度，该第一高度大于或等于该第三高度，该第三高度大于该初始高度；

该腔体的顶端为一尖椎体结构；

该第一通道、该第二通道与该第三通道分别为一管体结构；

该第一高度与该第三高度之间具有一预定间距，该预定间距为该第一通道中心与该第三通道中心的距离，而该预定间距介于该第一通道内径的0.5-3.5倍之间；

该第三通道设有一第三切换阀。

2.根据权利要求1所述的气泡分离机构，其特征在于，其中该第一通道的内径介于0.3-6公分之间，而该第三通道的内径介于0.3-6公分之间。

3.根据权利要求2所述的气泡分离机构，其特征在于，其中该第一通道的内径大于或等于该第三通道的内径。

4.一种含有药液供给的制程机台，其特征在于，其包含有：

一容置槽，其内部具有一制程药液；

至少一供给管路，其耦接并相通于该容置槽；

一供料泵，其连接于该容置槽的外部；

至少一气泡分离机构，其具有：

一腔体，该腔体具有至少一顶面、一底面与一侧面；

一活塞，设于该腔体中的该底面位置，该活塞具有一初始高度；

一第一通道，其一端耦接该腔体的该侧面并且相通于该腔体，该第一通道设有一第一切换阀，而该第一通道具有一第一高度；

一第三通道，其一端耦接该腔体的该侧面并且相通于该腔体，而该第三通道具有一第三高度；以及

一第二通道，其一端耦接该腔体的该顶面并且相通于该腔体，该第二通道设有一第二切换阀，该第二通道具有一第二高度，所述该第二高度为以平行地面为参考点至该第二通道与该腔体耦接位置的垂直轴向距离；

一输出装置，其一侧设有至少一输送管路，该输送管路两端分别耦接该输出装置与该第三通道，而该输出装置另一侧设有至少一喷嘴；其中，该初始高度、该第一高度、该第二高度与该第三高度分别为该活塞顶部表面、该第一通道中心、该第二通道与该第三通道中心距离地面的垂直距离，而该第二高度大于该第一高度，该第一高度大于或等于该第三高度，该第三高度大于该初始高度；

该第一高度与该第三高度之间具有一预定间距，该预定间距为该第一通道中心与该第三通道中心的距离，而该预定间距介于该第一通道内径的0.5-3.5倍之间。

5.根据权利要求4所述的含有药液供给的制程机台，其特征在于，其中该药液供给的制程机台为一涂布制程机台、一显影制程机台、一清洗制程机台、一湿蚀刻制程机台或者一剥膜制程机台。