[发明专利]一种基板及光阻层的制作方法有效
申请号: | 201510485932.4 | 申请日: | 2015-08-10 |
公开(公告)号: | CN105044966B | 公开(公告)日: | 2018-06-29 |
发明(设计)人: | 刘国和 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G02F1/1335 | 分类号: | G02F1/1335;G03F7/16 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 衬底 配向 量子 光阻层 光阻剂 基板 定向排列 混合材料 水平电场 电极 制作 负电压 长轴 电场 电极产生 外加电场 高粘度 预设 制程 生产成本 断电 通电 | ||
1.一种光阻层的制作方法,其特征在于,包括:
通过黄光制程在衬底上制作配向电极,所述配向电极用于在所述衬底通有正、负电压时,产生多个水平电场;
将彩色量子棒与光阻剂均匀混合,形成混合材料;将所述混合材料涂布在具有所述配向电极的所述衬底上;其中所述彩色量子棒具有长轴;所述彩色量子棒包括红色量子棒、绿色量子棒、蓝色量子棒;
在所述涂布有所述混合材料的所述衬底上通入正、负电压,以使所述彩色量子棒的长轴在所述配向电极产生的所述水平电场作用下沿着水平方向进行定向排列;
对所述涂布有所述混合材料的所述衬底进行真空干燥,以增大所述光阻剂的粘度;以及
在通电预设时间后进行断电,形成光阻层;其中所述量子棒的长轴始终沿水平方向定向排列。
2.根据权利要求1所述的光阻层的制作方法,其特征在于,
所述光阻剂为树脂光阻剂;
所述将彩色量子棒与光阻剂均匀混合的步骤包括:
将所述红色量子棒、所述绿色量子棒、所述蓝色量子棒均匀混合后,再与所述树脂光阻剂混合;
在所述对所述涂布有所述混合材料的所述衬底进行真空干燥的步骤之后,所述方法还包括:
在230℃温度下将经过所述真空干燥后的所述混合材料烘烤25-35分钟,以使所述树脂光阻剂进行充分固化。
3.根据权利要求1所述的光阻层的制作方法,其特征在于,
所述光阻剂为彩色光刻胶;所述彩色光刻胶包括红色光刻胶、绿色光刻胶、蓝色光刻胶;
在所述通过黄光制程在衬底上制作配向电极的步骤之后,所述方法还包括:
在具有所述配向电极的所述衬底上制作黑色矩阵;
将所述彩色量子棒与相应颜色的所述光刻胶进行混合,形成混合材料,将所述混合材料涂布在具有所述黑色矩阵的所述衬底上;
在所述对所述涂布有所述混合材料的所述衬底进行真空干燥的步骤之后,所述方法还包括:
对所述混合材料进行图案化处理,形成彩膜色阻。
4.根据权利要求1所述的光阻层的制作方法,其特征在于,
所述光阻层位于彩膜基板或者阵列基板上。
5.根据权利要求1所述的光阻层的制作方法,其特征在于,
当所述光阻层位于彩膜基板上时,所述彩膜基板包括彩膜色阻,所述彩膜色阻包括红色彩膜、绿色彩膜、蓝色彩膜;
当所述彩膜基板接收的背光光源的颜色为蓝色时,在所述红色彩膜的上方还设置有滤光膜,所述滤光膜用于过滤蓝色光。
6.一种基板,其特征在于,包括:
衬底;
光阻层,位于所述衬底上,其中在所述光阻层的材料中混合有彩色量子棒;所述彩色量子棒包括红色量子棒、绿色量子棒、蓝色量子棒;所述彩色量子棒具有长轴;所述彩色量子棒的长轴沿水平方向定向排列;所述光阻层包括多个光阻单元;所述光阻单元包括至少一种颜色的所述量子棒所在的区域;
配向电极,位于所述光阻单元的两侧,所述配向电极用于在所述衬底通有正、负电压时,产生多个水平电场;
其中所述光阻层具体是通过以下方法制得的:通过黄光制程在衬底上制作配向电极,所述配向电极用于在所述衬底通有正、负电压时,产生多个水平电场;
将彩色量子棒与光阻剂均匀混合,形成混合材料;将所述混合材料涂布在具有所述配向电极的所述衬底上;其中所述彩色量子棒具有长轴;所述彩色量子棒包括红色量子棒、绿色量子棒、蓝色量子棒;
在所述涂布有所述混合材料的所述衬底上通入正、负电压,以使所述彩色量子棒的长轴在所述配向电极产生的所述水平电场作用下沿着水平方向进行定向排列;
对所述涂布有所述混合材料的所述衬底进行真空干燥,以增大所述光阻剂的粘度;以及
在通电预设时间后进行断电,形成光阻层;其中所述量子棒的长轴始终沿水平方向定向排列。
7.根据权利要求6所述的基板,其特征在于,所述光阻层的材料为树脂光阻剂。
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