[发明专利]一种硅片切削回收液去水装置有效
| 申请号： | 201510487151.9 | 申请日： | 2015-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN105058602A | 公开（公告）日： | 2015-11-18 |
| 发明（设计）人： | 陈小力;江辉 | 申请（专利权）人： | 浙江辉弘光电能源有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00 |
| 代理公司： | 杭州华鼎知识产权代理事务所(普通合伙) 33217 | 代理人： | 胡根良 |
| 地址： | 314200 浙江省嘉*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 切削 回收 液去水 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种硅片切削回收液去水装置，其特征是：包括罐体(1)、出汽管(2)、进液管(3)、出液管(4)和加热器(5)；所述罐体(1)内设有储液腔(11)和加热腔(12)，储液腔(11)和加热腔(12)之间设有供液通道(13)，供液通道(13)上设有阀门(6)；进液管(3)与出液管(4)均连接在罐体(1)上，进液管(3)与储液腔(11)相通，出液管(4)与加热腔(12)相通；出汽管(2)套接在进液管(3)上，出汽管(2)与进液管(3)之间形成排汽通道(7)，所述罐体(1)上设有使储液腔(11)与外部连通的透气孔(14)。
2.根据权利要求1所述的一种硅片切削回收液去水装置，其特征是：所述储液腔(11)位于加热腔(12)的上方。
3.根据权利要求1所述的一种硅片切削回收液去水装置，其特征是：所述阀门(6)包括手柄(61)、阀杆(62)和球形阀芯(63)，球形阀芯(63)上设有阀芯槽(631)，球形阀芯(63)转接在供液通道(13)上，手柄(61)位于罐体(1)的外部，阀杆(62)固定在球形阀芯(63)与手柄(61)之间。
4.根据权利要求1所述的一种硅片切削回收液去水装置，其特征是：所述罐体(1)的外侧壁上设有一层保温层(8)。
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