[发明专利]一种硅片切削回收液去水装置

说明书

技术领域

本发明涉及硅片切割领域，尤其涉及一种硅片切削回收液去水装置。

背景技术

硅片切割中砂浆在线回收技术在国内开始兴起，越来越多的厂家开始自己购买设备自己回收砂浆，但回收的切削液中水分会随着回收次数增加而增加，虽然不同机型对切削液水含量的上限要求不同，但切削液中水的含量越低产品合格率越高。现在许多专门做回收砂浆的厂家用的都是蒸馏设备，对分离出来的切削液进行蒸馏，但现有的蒸馏设备价格比较昂贵，并且热能利用率低，浪费严重，耗时较长，对于重点做硅片生产的中小型企业买这种设备不实际。

发明内容

本发明提供了一种硅片切削回收液去水装置，旨在解决现有的蒸馏设备用在热能利用率低的问题。

为了解决以上技术问题，本发明通过以下技术方案实现：一种硅片切削回收液去水装置，包括罐体、出汽管、进液管、出液管和加热器；所述罐体内设有储液腔和加热腔，储液腔和加热腔之间设有供液通道，供液通道上设有阀门；进液管与出液管均连接在罐体上，进液管与储液腔相通，出液管与加热腔相通；出汽管套接在进液管上，出汽管与进液管之间形成排汽通道，所述罐体上设有使储液腔与外部连通的透气孔。

进一步，所述储液腔位于加热腔的上方；方便储液腔内的切削回收液流进加热腔内。

进一步，所述阀门包括手柄、阀杆和球形阀芯，球形阀芯上设有阀芯槽，球形阀芯转接在供液通道上，手柄位于罐体的外部，阀杆固定在球形阀芯与手柄之间；便于控制储液腔内的切削回收液流进加热腔。

进一步，所述罐体的外侧壁上设有一层保温层；减少罐体内热量的流失。

与现有技术相比本发明的优点是：本发明通过加热器对加热腔内的切削回收液进行加热，待水分受热变成蒸汽后从排汽通道排出，出汽管套接在进液管上，蒸汽对进液管内的切削回收液进行预热，提高了热能的利用率，减少了热能浪费，同时有利于将蒸汽变成水流排出，透气孔有利于储液腔内的切削回收液顺利流进加热腔内。

附图说明

下面结合附图对本发明作进一步说明：

图1为本发明的结构示意图。

具体实施方式

参阅图1，一种硅片切削回收液去水装置，包括罐体1、出汽管2、进液管3、出液管4和加热器5；所述罐体1内设有储液腔11和加热腔12，储液腔11和加热腔12之间设有供液通道13，供液通道13上设有阀门6；进液管3与出液管4均连接在罐体1上，进液管3与储液腔11相通，出液管4与加热腔12相通；出汽管2套接在进液管3上，出汽管2与进液管3之间形成排汽通道7，所述罐体1上设有使储液腔11与外部连通的透气孔14。所述储液腔11位于加热腔12的上方。所述罐体1的外侧壁上设有一层保温层8。

所述阀门6包括手柄61、阀杆62和球形阀芯63，球形阀芯63上设有阀芯槽631，球形阀芯63转接在供液通道13上，手柄61位于罐体1的外部，阀杆62固定在球形阀芯63与手柄61之间。

工作时，通过进液管3向储液腔11内提供切削回收液，进液管3内的切削回收液经排汽通道7内的蒸汽预热；储液腔11内的切削回收液通过阀门6和供液通道13流向加热腔12，加热器11对加热腔12内的切削回收液进行加热，将水份变成蒸汽从排气通道7排出。

本发明通过加热器对加热腔内的切削回收液进行加热，待水分受热变成蒸汽后从排汽通道排出，出汽管套接在进液管上，蒸汽对进液管内的切削回收液进行预热，提高了热能的利用率，减少了热能浪费，同时有利于将蒸汽变成水流排出，透气孔有利于储液腔内的切削回收液顺利流进加热腔内。

以上所述仅为本发明的具体实施例，但本发明的技术特征并不局限于此，任何本领域的技术人员在本发明的领域内，所作的变化或修饰皆涵盖在本发明的专利范围之中。