[发明专利]腔室气流控制系统及方法在审
| 申请号： | 201510492387.1 | 申请日： | 2015-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN105135603A | 公开（公告）日： | 2015-12-09 |
| 发明（设计）人： | 叶国梁;刘开欣;谢楚盛 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | F24F11/00 | 分类号： | F24F11/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;熊永强 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 气流 控制系统 方法 | ||
1.一种腔室气流控制系统，其特征在于，包括多个设有风机过滤单元的腔室、中央监控单元、气体检测单元和功率传感器，所述功率传感器与所述风机过滤单元连接，用于检测所述各腔室中风机过滤单元的输出功率并发送到所述中央监控单元，所述气体检测单元用于将所述腔室的气体状态信息发送到所述中央监控单元，所述中央监控单元将所述气体检测单元和所述功率传感器的信息进行处理，并向所述风机过滤单元发送控制指令，控制所述腔室中风机过滤单元的输出功率以改变气体流向。
2.如权利要求1所述的腔室气流控制系统，其特征在于，所述气体检测单元为气压传感器，用于检测所述腔室气体的气压差值，并发送到所述中央监控单元，中央监控单元控制所述腔室中风机过滤单元的输出功率，使得气体流出所述腔室的压强大于气体流入所述腔室的压强。
3.如权利要求1所述的腔室气流控制系统，其特征在于，所述气体检测单元为风向传感器，用于检测检测所述腔室的气体的流向，并发送到所述中央监控单元，中央监控单元控制所述腔室中风机过滤单元的输出功率，使得气体流出所述腔室的压强大于气体流入所述腔室的压强。
4.如权利要求3所述的腔室气流控制系统，其特征在于，所述风向传感器设于相邻的所述腔室的交界处。
5.一种腔室气流控制方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：
气体检测单元采集各腔室内气体状态信息并将所述气体状态信息发送给所述中央监控单元；
功率传感器采集风机过滤单元输出功率数据，并将所述风机过滤单元输出功率数据发送给所述中央监控单元；
中央监控单元对接收的所述气体状态信息和所述风机过滤单元输出功率数据进行预处理，并发送控制指令给所述风机过滤单元；
所述风机过滤单元得到控制指令，控制所述风机过滤单元的输出功率，使得气体流向与目标气体流向相同。
6.如权利要求5所述的腔室气流控制方法，其特征在于，所述气体检测单元采集各腔室内气体状态信息的周期为500毫秒。
7.如权利要求6所述的腔室气流控制方法，其特征在于，所述气体状态信息为各腔室的气体的气压差值。
8.如权利要求6所述的腔室气流控制方法，其特征在于，所述气体状态信息为各腔室的气体的流向。
9.如权利要求5所述的腔室气流控制方法，其特征在于，所述中央监控单元进行预处理得到控制指令具体为：增大气体流出腔室的风机过滤单元输出功率和/或减小气体流入腔室的风机过滤单元输出功率。
10.如权利要求9所述的腔室气流控制方法，其特征在于，所述中央监控单元进行预处理得到控制指令具体为：先增大气体流出腔室的风机过滤单元输出功率，当输出功率达到最大值且未达到控制目的则减小气体流入腔室的风机过滤单元输出功率。
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