[发明专利]腔室气流控制系统及方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种控制系统，特别涉及一种腔室气流控制系统及方法。

背景技术

随着对产品的微细化或高精细化的要求，以电子行业、电气行业为首的很多的行业中，为了维持产品品质，需要构筑具有比一般环境更高等级的空气洁净度的制造环境。一般而言，将这样的制造环境称之为无尘室或无尘隔间等。

一般而言，在无尘隔间或无尘室中，称之为FFU(FanFilterUnits：风机过滤单元)。FFU开启会导致设备内的压力增大，设备内气流向外部流动，并且由于FFU可能品牌及数量等其他因素不同而导致不同腔室内的气压不同，就会出现设备内气流流向其他腔室，从生产的角度来说，不希望发生气流中的粉尘等细小颗粒流入精密设备所处的腔室中，因为粉尘等细小颗会随着气流进入精密设备中，对产品的品质造成极大的风险。

其次生产过程中，精密的设备周围通常周围不仅一台设备，气流的流动会受到许多设备处的FFU的影响，由于各设备的FFU独立工作，相互间无反馈调节的功能，从而使得各个设备所处腔室内的气流的流向不可控性增大。

发明内容

本发明的目的在于提供一种能够及时调整各腔室的风机过滤单元输出功率，从而实时监控设备所处的腔室中气流的流向的腔室气流控制系统。

本发明的另一目的在于提供一种上述腔室气流控制系统的操作方法。

为了实现上述目的，本发明实施方式提供如下技术方案：

本发明提供一种腔室气流控制系统，包括多个设有风机过滤单元的腔室、中央监控单元、气体检测单元和功率传感器，所述功率传感器与所述风机过滤单元连接，用于检测所述各腔室中风机过滤单元的输出功率并发送到所述中央监控单元，所述气体检测单元用于将所述腔室的气体状态信息发送到所述中央监控单元，所述中央监控单元将所述气体检测单元和所述功率传感器的信息进行处理，并向所述风机过滤单元发送控制指令，控制所述腔室中风机过滤单元的输出功率以改变气体流向。

其中，所述气体检测单元为气压传感器，用于检测所述腔室气体的气压差值，并发送到所述中央监控单元，中央监控单元控制所述腔室中风机过滤单元的输出功率，使得气体流出所述腔室的压强大于气体流入所述腔室的压强。

其中，所述气体检测单元为风向传感器，用于检测检测所述腔室的气体的流向，并发送到所述中央监控单元，中央监控单元控制所述腔室中风机过滤单元的输出功率，使得气体流出所述腔室的压强大于气体流入所述腔室的压强。

其中，所述风向传感器设于相邻的所述腔室的交界处。

本发明还提供一种腔室气流控制方法，该方法包括以下步骤：

气体检测单元采集各腔室内气体状态信息并将所述气体状态信息发送给所述中央监控单元；

功率传感器采集风机过滤单元输出功率数据，并将所述风机过滤单元输出功率数据发送给所述中央监控单元；

中央监控单元对接收的所述气体状态信息和所述风机过滤单元输出功率数据进行预处理，并发送控制指令给所述风机过滤单元；

所述风机过滤单元得到控制指令，控制所述风机过滤单元的输出功率，使得气体流向与目标气体流向相同。

其中，所述气体检测单元采集各腔室内气体状态信息的周期为500毫秒。

其中，所述气体状态信息为各腔室的气体的气压差值。

其中，所述气体状态信息为各腔室的气体的流向。

其中，所述中央监控单元进行预处理得到控制指令具体为：增大气体流出腔室的风机过滤单元输出功率和/或减小气体流入腔室的风机过滤单元输出功率。

其中，所述中央监控单元进行预处理得到控制指令具体为：先增大气体流出腔室的风机过滤单元输出功率，当输出功率达到最大值且未达到控制目的则减小气体流入腔室的风机过滤单元输出功率。

本发明实施例具有如下优点或有益效果：

本发明通过在各个腔室设置气体检测装置，并通过检测到的各个腔室气体的状态信息，实时调整各个腔室风机过滤单元输出功率的方法，以改变各腔室的换气量，实现气流方向由换气量大的腔室流向换气量小的腔室的功能，达到了降低腔室中生产的产品的品质风险、提高产品良率的技术效果。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明第一个实施例的腔室气流控制系统示意图；