[发明专利]布轮抛光湿度检测误差修正方法

权利要求书

1.一种布轮抛光湿度检测误差修正方法，其特征在于：设定当布轮为最大半径R时，湿度传感器检测探头与布轮表面的距离为基准距离L，同时设定布轮表面灰度值为0，此时布轮的湿度检测值为基准湿度值H_r；在存储器中事先存储其中一个参数变化，另两个参数固定时的湿度误差值，即由距离变化引起的湿度检测误差△H_L，由布轮半径变化引起的湿度检测误差△H_R，由布轮表面灰度值变化引起的湿度检测误差△H_G；检测当前布轮湿度值H，并检测当前湿度传感器检测探头与布轮表面距离、当前布轮半径、当前布轮表面灰度值，根据当前值找出相应的湿度检测误差，修正湿度检测值H′＝H+△H_L+△H_R+△H_G；在实际应用时，检测探头与布轮表面距离L_x、布轮半径R_x及布轮表面灰度值G_x，在存储器中选择与检测值相同或最近的一个数值，以该数值对应的湿度变化量所对应的湿度误差值△H_Lx、△H_Rx及△H_Gx。

2.根据权利要求1所述的布轮抛光湿度检测误差修正方法，其特征在于由湿度传感器检测探头与布轮检测表面距离变化所引起的湿度检测误差△H_L获取方法包括以下步骤：

步骤1：当湿度传感器检测探头与布轮待测表面距离为L时，布轮湿度检测值为基准值H_r，令距离变化次数n＝1，同时保持布轮半径与布轮灰度值不变；

步骤2：控制探头与布轮表面距离为L+n△L，△L为每次距离变化的固定值；

步骤3：判断L+n△L是否大于湿度检测仪测量范围的最大距离L_max，如果不大于则检测当前距离下布轮表面湿度值H_Ln，并得出湿度变化量即湿度检测误差△H_Ln＝H_Ln-H_r；

步骤4：将n及△H_Ln的对应关系存入存储器；

步骤5：n＝n+1，返回步骤2；

步骤6：如果L+n△L大于L_max则结束，或者利用上述测量数据求出该距离下的湿度变化量并结束。

3.根据权利要求1所述的布轮抛光湿度检测误差修正方法，其特征在于由布轮半径变化所引起的湿度检测误差△H_R的获取方法包括以下步骤：

步骤1：湿度传感器检测探头与布轮待测表面距离为L、布轮半径最大、布轮灰度为0时，布轮湿度检测值为基准值H_r；令半径变化次数k＝1，并保持布轮灰度值不变；

步骤2：布轮半径R_k＝R-k△R，△R为每次半径减小的固定值，R为布轮最大半径；

步骤3：判断R-k△R是否小于布轮半径的最小值R_min；

步骤4：如果不小于则控制探头与布轮检测表面距离为标准距离L；

步骤5：检测当前布轮表面湿度值H_Rk；

步骤6：得出湿度变化量△H_Rk＝H_Rk-H_r；

步骤7：将R_k与△H_Rk存入相应存储器；

步骤8：k＝k+1，返回步骤2；

步骤9：如果R-k△R小于R_min则结束，或者利用上述测量数据求出该半径下的湿度变化量并结束。