[发明专利]镀膜装置

权利要求书

1.一种镀膜装置，其特征在于，用以在一基材上进行镀膜，该镀膜装置包含：

一镀膜腔室；

一载台，设置于该镀膜腔室内，且具有一顶面，该顶面用以盛放该基材；以及

多个磁场产生件，设置于该载台内或该载台下方，至少部分的所述磁场产生件的N极朝向该顶面，且至少部分的所述磁场产生件的S极朝向该顶面，所述磁场产生件的N极及所述磁场产生件的S极是以矩型阵列排列的圆形或以蜂巢方式排列的圆形。

2.根据权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述磁场产生件为永久磁铁。

3.根据权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述磁场产生件为电磁铁。

4.根据权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述磁场产生件为圆形、环形或条状。

5.根据权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述磁场产生件所产生的磁场的空间分布会随着时间改变。

6.根据权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，还包含：

一转盘，设置于该载台下方，该转盘用以盛放所述磁场产生件，且该转盘在进行镀膜时会进行自转。

7.一种镀膜装置，其特征在于，用以在一基材上进行镀膜，该镀膜装置包含：

一镀膜腔室；

一载台，设置于该镀膜腔室内，且具有一顶面，该顶面用以盛放该基材；

一母转盘，其设置于该载台下方中央部位，该母转盘具有一母齿轮部；

至少二个子转盘，其设置于该母转盘外侧，每个该子转盘具有一子齿轮部与至少一磁场产生件，每个该子齿轮部与该母齿轮部啮合，该磁场产生件包含一S极朝向该顶面的磁性元件与一N极朝向该顶面的磁性元件；以及

一外围齿轮部，其设置于该载台下方最外围，并包围每个该子转盘，该外围齿轮部与每个该子齿轮部啮合。