[发明专利]一种显示装置、触控面板及其制作方法有效
申请号: | 201510516320.7 | 申请日: | 2015-08-20 |
公开(公告)号: | CN105159489B | 公开(公告)日: | 2018-01-30 |
发明(设计)人: | 操彬彬 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
主分类号: | G06F3/041 | 分类号: | G06F3/041 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)11201 | 代理人: | 赵天月 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 显示装置 面板 及其 制作方法 | ||
1.一种触控面板的制作方法,其特征在于,包括:
步骤S1:在基板上通过一次构图工艺形成图案化的金属引线和金属架桥;
步骤S2:沉积绝缘层和透明电极层,通过一次构图工艺形成绝缘层的图形以及用于触控的第一电极和第二电极的图形,
其中,步骤S2具体包括:
在绝缘层上涂覆光刻胶,通过半透明掩膜版进行曝光显影,其中,对应绝缘层过孔处为光刻胶完全曝光区域,对应触控的第一电极和第二电极处为光刻胶半曝光区域,所述光刻胶完全曝光区域和所述光刻胶半曝光区域以外的区域为光刻胶完全保留区域;
干法刻蚀绝缘层,形成绝缘层过孔,并对光刻胶进行灰化,去除所述光刻胶半曝光区域的光刻胶;
沉积透明电极,对剩余光刻胶进行离地剥离,有光刻胶的区域透明电极全部被去除,而无光刻胶的区域透明电极全部被保留,进而形成用于触控的第一电极和第二电极。
2.如权利要求1所述的触控面板的制作方法,其特征在于,所述步骤S1之前还包括:在基板上形成黑矩阵的图形,所述黑矩阵的图形与金属引线相对应。
3.如权利要求1或2所述的触控面板的制作方法,其特征在于,在步骤S2之后还包括步骤S3:在第一电极和第二电极上形成保护层。
4.如权利要求3所述的触控面板的制作方法,其特征在于,所述保护层由SiNOx薄膜制成。
5.一种触控面板,其特征在于,由以下结构组成:基板,在基板上设有金属架桥和引线,在上述结构的基板上设有绝缘层和用于触控的第一电极和第二电极;所述绝缘层上设有过孔;通过过孔,所述第一电极分别与金属架桥和金属引线实现电连接;所述基板上设有黑矩阵,所述黑矩阵贴近基板,且与金属引线位置相对应;保护层,所述保护层位于第一电极和第二电极上。
6.一种显示装置,其特征在于,包括权利要求5所述的触控面板。
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