[发明专利]一种小开口蒸镀用掩模板

权利要求书

1.一种小开口蒸镀用掩模板，所述掩模板包括掩模层和掩模支撑层两层结构，所述掩膜层具有由掩模开口阵列形成的开口单元，所述掩模支撑层具有由支撑窗口阵列形成的窗口单元，其特征在于：所述掩模层和所述掩模支撑层之间紧密贴合；构成所述开口单元的掩模开口阵列方式与构成所述窗口单元的支撑窗口阵列方式相同，所述掩模开口与所述支撑窗口一一对应，且每个所述掩模开口设置于相应的所述支撑窗口内部；所述掩模开口的开口尺寸小于相对应的所述支撑窗口的开口尺寸，所述掩膜层的厚度不大于所述掩模支撑层的厚度。

2.根据权利要求1所述的小开口蒸镀用掩模板，其特征在于，所述掩膜层的厚度范围为：2-20μm；所述掩模支撑层的厚度范围为：20-60μm。

3.根据权利要求2所述的小开口蒸镀用掩模板，其特征在于，所述掩膜层的厚度为：5μm、8μm、12μm、15μm或18μm；所述掩模支撑层的厚度为：25μm、30μm、35μm、40μm、45μm或50μm。

4.根据权利要求1所述的小开口蒸镀用掩模板，其特征在于，构成所述开口单元的掩模开口与构成所述窗口单元的支撑窗口的开口形状均为矩形，所述掩膜层上所述掩模开口的边长尺寸范围为15-40μm。

5.根据权利要求1所述的小开口蒸镀用掩模板，其特征在于，构成所述开口单元的掩模开口与构成所述窗口单元的支撑窗口的开口形状均为正六边形或八边形，所述掩膜层上所述掩模开口的边长尺寸范围为10-30μm。

6.根据权利要求1所述的小开口蒸镀用掩模板，其特征在于，构成所述开口单元的掩模开口与构成所述窗口单元的支撑窗口的开口形状均为圆形，所述掩膜层上所述掩模开口的直径尺寸范围为15-45μm。

7.根据权利要求1所述的小开口蒸镀用掩模板，其特征在于，构成所述掩模板的掩膜层的材质为有机材料。

8.根据权利要求1所述的小开口蒸镀用掩模板，其特征在于，所述掩模支撑层的材质为不锈钢、因瓦合金或者其它镍基合金。