[发明专利]状态期间的子脉冲

权利要求书

1.一种用于在射频发生器的第一状态期间建立子状态的方法，其包括：

接收来自时钟源的时钟信号，所述时钟信号具有包括所述第一状态和第二状态的两个状态；

从所述时钟信号产生脉冲信号，所述脉冲信号在所述第一状态内具有所述子状态，所述子状态以大于所述状态的频率的频率彼此相对交替；

提供所述脉冲信号以控制由第一射频发生器产生的第一射频信号的功率，所述功率被控制成与所述脉冲信号同步；

将具有所述子状态并且具有所述第二状态的所述第一射频信号供应到连接到等离子体室的电极的阻抗匹配电路；以及

从第二射频发生器将具有所述第一状态而没有所述子状态并且具有所述第二状态的第二射频信号供应到连接到所述电极的所述阻抗匹配电路。

2.根据权利要求1所述的方法，其中被控制成与所述脉冲信号同步的所述功率具有与所述脉冲信号的频率相同的频率。

3.根据权利要求1所述的方法，其中所述时钟源包括晶体振荡器或与锁相回路耦合的晶体振荡器。

4.根据权利要求1所述的方法，其中所述第一射频发生器是2MHz射频发生器，所述第二射频发生器60MHz射频发生器。

5.根据权利要求1所述的方法，其中所述第一状态是高状态，所述第二状态是低状态，所述高状态比所述低状态具有较高的逻辑水平。

6.根据权利要求1所述的方法，其中所述子状态包括两个子状态，其中所述脉冲信号从所述第二状态过渡到所述两个子状态中的第一子状态，然后从所述两个子状态中的所述第一子状态过渡到所述两个子状态中的第二子状态，然后从所述两个子状态中的所述第二子状态过渡到所述两个子状态中的所述第一子状态，然后从所述两个子状态中的所述第一子状态过渡到所述两个子状态中的所述第二子状态，然后从所述两个子状态中的所述第二子状态过渡到所述第二状态。

7.根据权利要求6所述的方法，其中所述第一射频信号的功率包括多功率水平，其中在所述子状态的低状态期间的一个功率水平等于或高于在所述第二状态期间的另一个功率水平。

8.根据权利要求1所述的方法，还包括：

提供所述时钟信号到用于产生与所述时钟信号同步的所述第二射频信号的所述第二射频发生器。

9.根据权利要求8所述的方法，

其中所述阻抗匹配电路基于所述第一射频信号和所述第二射频信号来产生修改的射频信号，其中所述阻抗匹配电路通过使所述等离子体室和射频传输线的阻抗与所述第一射频发生器、所述第二射频发生器、第一射频电缆和第二射频电缆的阻抗匹配来产生所述修改的射频信号，

其中所述射频传输线使所述等离子体室耦合至所述阻抗匹配电路，

其中所述第一射频电缆使所述第一射频发生器耦合至所述阻抗匹配电路，并且

其中所述第二射频电缆使所述第二射频发生器耦合至所述阻抗匹配电路。

10.根据权利要求1所述的方法，其中所述子状态包括第一子状态、第二子状态、第三子状态和第四子状态，其中所述第一射频信号的功率具有多个功率水平，其中所述功率水平的第一功率水平从所述第一子状态过渡到所述第二子状态中的所述功率水平的第二功率水平，其中所述功率水平的所述第二功率水平然后过渡到所述第一子状态中的所述功率水平的第一功率水平，其中所述功率水平的所述第一功率水平然后过渡到所述第二子状态中的所述功率水平的第二功率水平，其中所述功率水平的所述第二功率水平然后过渡到所述第三子状态中的所述功率水平的第三功率水平，其中所述功率水平的所述第三功率水平然后过渡到所述功率水平的第四功率水平以达到所述第四子状态，其中所述功率水平的所述第四功率水平然后过渡到所述功率水平的所述第三功率水平以达到所述第三子状态，其中所述功率水平的所述第三功率水平然后过渡到所述功率水平的所述第四功率水平。