[发明专利]制备钨铼基钡钨阴极的方法有效
申请号: | 201510524159.8 | 申请日: | 2015-08-24 |
公开(公告)号: | CN105118760B | 公开(公告)日: | 2017-06-16 |
发明(设计)人: | 王小霞;漆世锴;胡明炜;赵青兰;李云;张琪 | 申请(专利权)人: | 中国科学院电子学研究所 |
主分类号: | H01J9/04 | 分类号: | H01J9/04;H01J19/04 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人: | 曹玲柱 |
地址: | 100190 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 制备 钨铼基钡钨 阴极 方法 | ||
技术领域
本发明涉及电真空技术领域,尤其涉及一种制备钨铼基钡钨阴极的方法。
背景技术
钡钨阴极是应用于电真空器件最为广泛的热阴极之一。多孔的钨海绵基底(W基)是浸渍钡钨阴极的重要组成部分,它的成分、孔度、孔均匀性直接决定浸渍钡钨阴极的发射性能及寿命。而W-Re基钡钨阴极在一定程度上提高了纯W基钡钨阴极的发射性能,在现有的真空电子管得到了广泛的采用。
图1为现有技术制备钨铼基钡钨阴极的流程示意图。请参照图1,制备钨铼基钡钨阴极的工艺包括:W粉掺杂Re粉按一定比例混合后压制、烧结成多孔W-Re基底;浸铜、加工成型、去铜;铝酸盐浸渍;覆膜;最后制得钨铼基钡钨阴极。
然而,在长期实践过程中,申请人发现:由于W粉与Re粉两种固体粉末混合均匀难度较大,而且在W-Re基海绵烧结过程中由于元素的自集作用,使得本来分开的Re或W原子又团聚在一起,从而使得所制备W-Re海绵中W与Re的不均匀性进一步增加,进而影响阴极的发射性能及寿命。
发明内容
(一)要解决的技术问题
鉴于上述技术问题,本发明提供了一种制备钨铼基钡钨阴极的方法,以提高W-Re海绵中W与Re的均匀性,进而提高阴极的发射性能及寿命。
(二)技术方案
本发明制备钨铼基钡钨阴极的方法包括:步骤A:制备NH4ReO4水溶液;步骤B:将多孔W基底浸入所述NH4ReO4水溶液中,使所述多孔W基底吸附NH4ReO4;步骤C:对吸附NH4ReO4后的多孔W基底进行烘烤、烧结,使其转化为W-Re基底;以及步骤D:在W-Re基底中浸入铝酸盐并覆膜制备阴极,完成钨铼基钡钨阴极的制备。
(三)有益效果
从上述技术方案可以看出,本发明制备钨铼基钡钨阴极的方法可以提高W-Re基底中Re在W基底中的掺杂均匀性,使得阴极工作过程中W基底中的Re可以均匀的吸附W基底孔内部及表面的氧而游离活性物质Ba(钡),从而提高阴极发射性能,延长阴极寿命。
附图说明
图1为现有技术制备钨铼基钡钨阴极的流程示意图;
图2为根据本发明实施例制备钨铼基钡钨阴极的方法的流程图;
图3为采用图2所示方法制备的钨铼基钡钨阴极的示意图;
图4是该阴极在阴极温度1000℃br,初始直流发射电流密度3.0A/cm2时的寿命曲线。
具体实施方式
本发明采用液固相法实现了Re在W基底中的掺杂均匀性大大提高的W-Re基底,并在此基础上实现了性能优良的钨铼基钡钨阴极。
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白,以下结合具体实施例,并参照附图,对本发明进一步详细说明。
在本发明的一个示例性实施例中,提供了一种制备钨铼基钡钨阴极的方法。图2为根据本发明实施例制备钨铼基钡钨阴极的方法的流程图。如图2所示,本实施例制备钨铼基钡钨阴极的方法包括:
步骤A:制备NH4ReO4(高铼酸铵)水溶液;
根据本发明,可以采用现有的任何方法制备NH4ReO4水溶液,但是,需要保证NH4ReO4溶剂和水的质量比介于1∶15至1∶5之间,优选为1∶10。
本实施例中,将NH4ReO4晶体粉末溶于去离子水中,NH4ReO4晶体粉末占去离子水的质量百分比小于10%,加热该溶液至60℃以上,至NH4ReO4晶体完全溶解,制得NH4ReO4水溶液。
步骤B:将烧结的多孔W基底浸入所述NH4ReO4水溶液中,使所述多孔W基底吸附NH4ReO4;
其中,所述多孔W基底的孔度为18%至30%,优选为21%。
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