[发明专利]一种泡生法生长蓝宝石晶体的引晶方法有效
| 申请号： | 201510529154.4 | 申请日： | 2015-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN105019023B | 公开（公告）日： | 2017-08-11 |
| 发明（设计）人： | 李东振;马远;邱一豇;吴勇;周健杰 | 申请（专利权）人： | 江苏中电振华晶体技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/20 | 分类号： | C30B29/20;C30B17/00 |
| 代理公司： | 北京一格知识产权代理事务所(普通合伙)11316 | 代理人： | 滑春生 |
| 地址： | 226500 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 泡生法 生长 蓝宝石 晶体 方法 | ||
1.一种泡生法生长蓝宝石晶体的引晶方法，其特征在于:利用籽晶辐射散热开口的非旋转对称结构，引晶时包括如下步骤：
（1）籽晶下浸熔体液面3—5mm；
（2）通过等待非旋转对称结构的散热口散热，使籽晶向一侧优先 生长出晶盘，待晶盘长至3mm以上，进行下一步；
（3）以3—12mm/h的平均提拉速度对籽晶进行提拉，提拉过程中采用间隔式瞬间提升，并旋转给定角度，间隔式瞬间提升后等待散热口方向再次生长出晶盘，以便进行下一次瞬间提升；
（4）重复步骤（3）至晶节长度为60—80mm，形成螺旋状结构晶节，且固液相界面当量横截面直径为40—60mm时，结束引晶；
所述步骤（2）中的非旋转对称结构的开口结构为逆时针旋转90度的“T”字形。
2.一种泡生法生长蓝宝石晶体的引晶方法，其特征在于:利用籽晶辐射散热开口的非旋转对称结构，引晶时包括如下步骤：
（1）籽晶下浸熔体液面3—5mm；
（2）通过等待非旋转对称结构的散热口散热，使籽晶向一侧优先 生长出晶盘，待晶盘长至3mm以上，进行下一步；
（3）以3—12mm/h的平均提拉速度对籽晶进行提拉，提拉过程中采用间隔式瞬间提升，并旋转给定角度，间隔式瞬间提升后等待散热口方向再次生长出晶盘，以便进行下一次瞬间提升；
（4）重复步骤（3）至晶节长度为60—80mm，形成螺旋状结构晶节，且固液相界面当量横截面直径为40—60mm时，结束引晶；
所述步骤（2）中的非旋转对称结构的开口结构为非旋转对称夹角结构，夹角为70—80度角。
3.一种泡生法生长蓝宝石晶体的引晶方法，其特征在于:利用籽晶辐射散热开口的非旋转对称结构，引晶时包括如下步骤：
（1）籽晶下浸熔体液面3—5mm；
（2）通过等待非旋转对称结构的散热口散热，使籽晶向一侧优先 生长出晶盘，待晶盘长至3mm以上，进行下一步；
（3）以3—12mm/h的平均提拉速度对籽晶进行提拉，提拉过程中采用间隔式瞬间提升，并旋转给定角度，间隔式瞬间提升后等待散热口方向再次生长出晶盘，以便进行下一次瞬间提升；
（4）重复步骤（3）至晶节长度为60—80mm，形成螺旋状结构晶节，且固液相界面当量横截面直径为40—60mm时，结束引晶；
所述步骤（2）中的非旋转对称结构的开口结构为“L”形。
4.根据权利要求1、2或3所述的泡生法生长蓝宝石晶体的引晶方法，其特征在于:所述的非旋转对称结构，给定角度旋转操作时，旋转方向为逆时针方向。
5.根据权利要求1、2或3所述的泡生法生长蓝宝石晶体的引晶方法，其特征在于:所述步骤（3）中的瞬间提升为每次手动提拉1—2mm。
6.根据权利要求1、2或3所述的泡生法生长蓝宝石晶体的引晶方法，其特征在于:所述步骤（3）中的旋转给定角度为手动旋转5—15度角。
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