[发明专利]一种硅片运输工具

权利要求书

1.一种硅片运输工具，包括车架和设置于车架上的、用于放置硅片盒的数层隔板，车架的底部设置有滚轮，其特征在于：所述隔板包括位于底部的底板和位于底板上方的数块上隔板，每一上隔板均包括若干可相互重叠和展开的折叠板，且折叠后的折叠板底端的高度高于硅片盒上端的高度，上隔板的两端与车架滑动连接，上隔板的内侧与车架铰接。

2.根据权利要求1所述的硅片运输工具，其特征在于：在所述折叠板的两端设置有滑动块，在所述车架上设置有与滑动块相配合的滑槽。

3.根据权利要求2所述的硅片运输工具，其特征在于：所述滑动块为轴承、滚动轮或紧固螺母。

4.根据权利要求1所述的硅片运输工具，其特征在于：折叠后的折叠板底端距离硅片盒上端3-8cm。

5.根据权利要求1所述的硅片运输工具，其特征在于：在所述车架上、沿每一层隔板的两侧及内侧设置有围挡。

6.根据权利要求1所述的硅片运输工具，其特征在于：在所述上隔板的外侧设置有向上弯折的挡边。

7.根据权利要求1所述的硅片运输工具，其特征在于：在所述上隔板外侧的底部设置有用于折叠或展开上隔板的把手。

8.根据权利要求1所述的硅片运输工具，其特征在于：在所述车架上还设置有在上隔板展开时锁定上隔板的锁紧件。

9.根据权利要求8所述的硅片运输工具，其特征在于：所述锁紧件为设置于车架上的、可穿过上隔板两端最外侧的一个滑动块的弹簧插销。

10.根据权利要求1所述的硅片运输工具，其特征在于：在所述车架的两侧设置有扶手。