[发明专利]一种硅片运输工具

说明书

技术领域

本发明涉及一种物料的运输工具，尤其涉及一种硅片运输工具，用于将切片后的硅片进行短距离运输和转移。

背景技术

目前单多晶硅片，从晶棒切成片后需要清洗，清洗后并单片分开并列放置在硅片盒内。单、多晶硅片平均厚度为180um，与头发丝厚度相当，属于易碎品。在硅片的生产运输过程中，每个片盒内临时放置25片硅片，虽然有片盒的保护，放置时如果磕碰，倾斜都会对片盒内的硅片产生破坏，导致硅片的破裂。因此，硅片的移动和运输一直以来是一大难题。现有硅片运输车一般包括数层隔板，装有硅片的硅片盒放置于隔板上，为了防止硅片盒与运输工具发生碰撞，取、放过程中，硅片盒应尽可能地平摊在隔板上，周围最好无遮挡。但是，为了在运输过程中防止硅片盒滑落，在隔板的周围一般都设置有围栏；同时，为了节约运输空间，提高运输效率，每一运输车一般都包含数层隔板。对于放置于中间隔板或底部隔板上的硅片盒而言，取放不方便，容易与运输车的围栏发生碰撞，且费时费力，造成硅片的破坏。因此，需要设计一种便于取、放硅片盒，同时，可有效地防止硅片盒磕碰的运输工具。

发明内容

本发明针对现有技术中硅片盒取、放不方便，容易磕碰的技术问题，提供一种取、放方便，同时可有效地保护硅片的硅片运输工具。

为此，本发明采用如下技术方案：

一种硅片运输工具，包括车架和设置于车架上的、用于放置硅片盒的数层隔板，车架的底部设置有滚轮，其特征在于：所述隔板包括位于底部的底板和位于底板上方的数块上隔板，每一上隔板均包括若干可相互重叠和展开的折叠板，且折叠后的折叠板底端的高度高于硅片盒上端的高度，上隔板的两端与车架滑动连接，上隔板的内侧与车架铰接。

进一步地，在所述折叠板的两端设置有滑动块，在所述车架上设置有与滑动块相配合的滑槽。

进一步地，所述滑动块为轴承、滚动轮或紧固螺母。

进一步地，折叠后的折叠板底端距离硅片盒上端3-8cm。

进一步地，在所述车架上、沿每一层隔板的两侧及内侧设置有围挡。

进一步地，在所述上隔板的外侧设置有向上弯折的挡边。

进一步地，在所述上隔板外侧的底部设置有用于折叠或展开上隔板的把手。

进一步地，在所述车架上还设置有在上隔板展开时锁定上隔板的锁紧件。

进一步地，所述锁紧件为设置于车架上的、可穿过上隔板两端最外侧的一个滑动块的弹簧插销。

进一步地，在所述车架的两侧设置有扶手。

本发明通过设置数层可折叠的上隔板，在放置硅片盒时，从最底层的底板开始，此时，位于底板上方的各上隔板均处于折叠状态，不占用空间，方便了底板上硅片盒的放置；当底板放置完成后，展开临近底板的一层上隔板，同样地进行放置硅片和的操作；重复操作，依次完成各层上隔板上的硅片盒放置。在取出硅片盒时，从最层的上隔板开始，当完成一层上隔板上的硅片盒取出操作时折叠该层上隔板，进行下一层隔板上的硅片和取出操作；重复操作，依次完成各层隔板上的硅片盒取出操作。放置和取出都非常方便，且操作过程中排除了来自其他隔板的障碍，可有效地防止硅片在取、放过程中因发生碰撞而损坏。因此，本发明的一辆硅片运输工具可实现现有技术中多辆硅片运输工具的效果，同时占用的空间更小，更符合5S中的整顿环节，放置片盒的数量比原先增加至少50%，运输效率更高；并且可以逐层放置更多的片盒，确保片盒内的硅片不会因为放置或取出时磕碰导致碎裂，更符合生产要求；此外，本发明结构简单，零部件少，容易实现，不易损坏，牢固性好。

综上，本发明可方便取、放硅片盒，并防止硅片在移动中碰撞而造成损坏；同时，增加单位运输工具的运输量，提高运输效率。

附图说明

图1为本发明的结构示意图一（展开状态）；

图2为本发明的结构示意图二（上隔板折叠状态）；

图3为本发明的上隔板的结构示意图；

图4为本发明的锁紧件的结构示意图；

图中，1为车架，2为滚轮，3为底板，4为上隔板，4a为折叠板，4b为挡边，5为滑动块，6为滑槽，7为围挡，8为把手，9为锁紧件，10为扶手，100为硅片盒。

具体实施方式

为了使本技术领域的人员更好的理解本发明方案，下面将具体实施例和附图，对本发明的技术方案进行清楚、完整的描述。