[发明专利]一种真空溅射镀膜基片装夹装置的使用方法

权利要求书

1.一种真空溅射镀膜基片装夹装置的使用方法，所述的一种真空溅射镀膜基片装夹装置，，是由：双面基片(1)、双面下弹性卡(2)、双面上弹性卡(3)、横梁(4)、竖梁(5)、单面上弹性卡(6)、单面下弹性卡(7)、单面基片(8)构成；其特征在于：竖梁(5)一侧设置至少两根横梁(4)，横梁(4)设置为十字型，十字型横梁(4)两侧分别设置侧梁；中部横梁(4)上面对称设置两个双面下弹性卡(2)、上方横梁(4)下面对称设置两个双面上弹性卡(3)，双面上弹性卡(3)与双面下弹性卡(2)的卡头对应设置，双面下弹性卡(2)与双面上弹性卡(3)之间设置双面基片(1)；上方横梁(4)下面与中部横梁(4)上面设置一组双面上弹性卡(3)与双面下弹性卡(2)；上方横梁(4)的侧梁下方对称设置两个单面上弹性卡(6)、中部横梁(4)的侧梁上面对称设置两个单面下弹性卡(7)，单面上弹性卡(6)与单面下弹性卡(7)的卡头对应设置，单面上弹性卡(6)与单面下弹性卡(7)之间设置单面基片(8)；竖梁(5)一侧设置至少两根横梁(4)，上下相邻两根横梁(4)之间对应基片的规格设置，两根横梁(4)之间设置双面基片(1)；横梁(4)设置为十字型，十字型横梁(4)两侧分别设置侧梁；同一侧的两根横梁(4)侧梁之间设置单面基片(8)。

加工真空溅射镀膜对单面基片(8)镀膜时，先把单面基片(8)下边放入下横梁(4)的单面下弹性卡(7)的卡槽中，单面基片(8)下边由两个单面下弹性卡(7)对称支撑，再把上边横梁(4)的单面上弹性卡(6)的卡槽卡住单面基片(8)的上边，单面基片(8)上边由两个单面上弹性卡(6)对称辅助卡紧。

2.根据权利要求1中所述的一种真空溅射镀膜基片装夹装置的使用方法，其特征在于：单面基片(8)通过单面上弹性卡(6)和单面下弹性卡(7)卡紧，固定在横梁(4)一侧上部和下部的横梁(4)之间后；启动输送小车，由输送小车带动竖梁(5)与横梁(4)和单面基片(8)进入真空溅射镀膜箱中，对单面基片(8)进行单面的溅射镀膜。

3.根据权利要求1中所述的一种真空溅射镀膜基片装夹装置的使用方法，其特征在于：加工真空溅射镀膜对双面基片(1)镀膜时，先把双面基片(1)下边放入下横梁(4)的双面下弹性卡(2)的卡槽中，双面基片(1)下边由两个双面下弹性卡(2)对称支撑，再把上边横梁(4)的双面上弹性卡(3)的卡槽卡住双面基片(1)的上边，双面基片(1)上边由两个双面上弹性卡(3)对称辅助卡紧；双面基片(1)通过双面上弹性卡(3)和双面下弹性卡(2)卡紧，固定在横梁(4)一侧上部和下部的横梁(4)之间后；启动输送小车，由输送小车带动竖梁(5)与横梁(4)和双面基片(1)进入真空溅射镀膜箱中，对双面基片(1)进行双面的溅射镀膜。