[发明专利]一种真空溅射镀膜基片装夹装置的使用方法

说明书

技术领域

本发明涉及电子产品ITO镀膜加工生产设备，尤其是一种真空溅射镀膜基片装夹装置的使用方法。

背景技术

现有ITO真空溅射镀膜基片装夹装备，形式多样，有镶嵌式的，有开放式的。开放式的，结构简单，装夹基片方便，通用性强，造价便宜，但是镀膜产品质量受影响，不能生产高品质产品；镶嵌式的，结构复杂，装夹基片稍难，产品的质装夹基片方便量有保证，但是通用性差，每种产品要对应一套，造价昂贵；不论镶嵌式的还是开放的，目前都不做到单面和双面镀膜的通用性，都需要两套装夹装备；鉴于上述原因，ITO真空溅射镀膜基片装夹装备的镶嵌式的，结构复杂，装夹基片稍难，单面和双面镀膜需要两套装夹装备，需要改进镶嵌式真空溅射镀膜基片装夹装备，现发明出一种真空溅射镀膜基片装夹装置的使用方法。

发明内容

本发明的目的是为了克服现有ITO真空溅射镀膜基片装夹装备的镶嵌式的，结构复杂，装夹基片稍难，单面和双面镀膜需要两套装夹装备，需要改进镶嵌式真空溅射镀膜基片装夹装备，通过合理设计，提供一种真空溅射镀膜基片装夹装置的使用方法，特殊设计的横梁通过连接片固定到竖梁上，弹性夹具通过螺钉连接到横梁上，单面产品或双面产品，徒手固定在弹性夹具上；单面和双面产品，装夹装备兼容，不同规格的产品，只要移动横梁，并重新固定，便可使用；横梁上下的挡片和基片之间的适当间距，可以防止绕射，生产的效率高。

本发明为了实现上述目的，采用如下技术方案：一种真空溅射镀膜基片装夹装置的使用方法，所述的一种真空溅射镀膜基片装夹装置，是由：双面基片、双面下弹性卡、双面上弹性卡、横梁、竖梁、单面上弹性卡、单面下弹性卡、单面基片构成；竖梁一侧设置至少两根横梁，横梁设置为十字型，十字型横梁两侧分别设置侧梁；中部横梁上面对称设置两个双面下弹性卡、上方横梁下面对称设置两个双面上弹性卡，双面上弹性卡与双面下弹性卡的卡头对应设置，双面下弹性卡与双面上弹性卡之间设置双面基片；上方横梁下面与中部横梁上面设置一组双面上弹性卡与双面下弹性卡；上方横梁的侧梁下方对称设置两个单面上弹性卡、中部横梁的侧梁上面对称设置两个单面下弹性卡，单面上弹性卡与单面下弹性卡的卡头对应设置，单面上弹性卡与单面下弹性卡之间设置单面基片；竖梁一侧设置至少两根横梁，上下相邻两根横梁之间对应基片的规格设置，两根横梁之间设置双面基片；横梁设置为十字型，十字型横梁两侧分别设置侧梁；同一侧的两根横梁侧梁之间设置单面基片；

加工真空溅射镀膜对单面基片镀膜时，先把单面基片下边放入下横梁的单面下弹性卡的卡槽中，单面基片下边由两个单面下弹性卡对称支撑，再把上边横梁的单面上弹性卡的卡槽卡住单面基片的上边，单面基片上边由两个单面上弹性卡对称辅助卡紧。

单面基片通过单面上弹性卡和单面下弹性卡卡紧，固定在横梁一侧上部和下部的横梁之间后；启动输送小车，由输送小车带动竖梁与横梁和单面基片进入真空溅射镀膜箱中，对单面基片进行单面的溅射镀膜。

加工真空溅射镀膜对双面基片镀膜时，先把双面基片下边放入下横梁的双面下弹性卡的卡槽中，双面基片下边由两个双面下弹性卡对称支撑，再把上边横梁的双面上弹性卡的卡槽卡住双面基片的上边，双面基片上边由两个双面上弹性卡对称辅助卡紧；双面基片通过双面上弹性卡和双面下弹性卡卡紧，固定在横梁一侧上部和下部的横梁之间后；启动输送小车，由输送小车带动竖梁与横梁和双面基片进入真空溅射镀膜箱中，对双面基片进行双面的溅射镀膜。

有益效果：单面或双面镀膜共用一套装夹装备，通用性强；更换产品品种，方便快捷；徒手快速装卸基片，减少人力资源的使用；解决绕射问题，可以生产低阻高档产品；结构简单，加工容易，造价便宜，永久使用。

本发明的竖梁是和移动小车是一体的，特殊设计的横梁通过连接片固定到竖梁上，弹性夹具通过螺钉连接到横梁上，单面产品或双面产品，徒手固定在弹性夹具上；单面和双面产品，装夹装备兼容，不同规格的产品，只要移动横梁，并重新固定，便可使用；横梁上下的挡片和基片之间的适当间距，可以防止绕射。

附图说明

下面结合附图对本发明作进一步说明：

图1是，总装结构示意图；

图2是，侧视剖面结构示意图；

图3是，安装双面基片的结构示意图；

图4是，安装单面基片结构示意图；

图1、2、3、4中：双面基片1、双面下弹性卡2、双面上弹性卡3、横梁4、竖梁5、单面上弹性卡6、单面下弹性卡7、单面基片8。

具体实施方式