[发明专利]曝光方法及曝光装置、以及元件制造方法

权利要求书

1.一种透过投影光学系统以照明光使物体曝光的曝光装置，其包括：

机架构件，其支承该投影光学系统；

基座，配置于该投影光学系统的下方；

载台，具有保持该物体的保持装置，且配置于该基座上；

驱动系统，具有在该基座与该载台中的一方设有磁石单元、在该基座与该载台中的另一方设有线圈单元的平面马达，在该基座上移动该载台；

测量板，具有分别形成反射型二维绕射光栅的四个部分，该四个部分以与该投影光学系统的光轴正交的既定面实质平行且配置于该光轴周围的方式，被悬吊支承于该机架构件；

编码器系统，具有设于该载台的四个读头，透过该四个读头将光束分别自下方照射该测量板以测量该载台的位置信息；以及

控制系统，根据该编码器系统所测量的位置信息控制该驱动系统；

该控制系统，根据在曝光动作中该载台移动的曝光时移动区域中，在该四个读头分别与该测量板的该四个部分相对的该载台的移动区域内藉由该编码器系统所测量的位置信息，取得用来补偿藉由该四个读头之中的三个读头所规定的第1座标系、与藉由该四个读头之中的和该三个读头不同的一个读头及该三个读头之中的两个读头的三个读头所规定的第2座标系的位置误差的修正信息；

该修正信息用于该驱动系统的控制。

2.如权利要求1所述的曝光装置，其中，该编码器系统，于该曝光时移动区域中，在与该移动区域不同的移动区域内以该四个读头之中的三个读头测量该载台的位置信息；该控制系统，藉由该载台的移动，将该编码器系统用于测量该位置信息的该三个读头之中的一个读头切换成该四个读头之中的和该三个读头不同的一个读头。

3.如权利要求2所述的曝光装置，其中，该切换后，藉由和该三个读头不同的该一个读头、及该三个读头中的剩余的两个读头，测量该载台的位置信息；

该修正信息用于该切换后的该驱动系统的控制。

4.如权利要求2所述的曝光装置，其中，该切换是在该四个读头分别与该测量板的该四个部分相对的期间进行的。

5.如权利要求4所述的曝光装置，其中，该测量板具有被该四个部分围绕的矩形的开口，该投影光学系统以被定位于该开口内的方式被悬吊支承于该机架构件。

6.如权利要求5所述的曝光装置，其中，该四个读头之中于该既定面内的第1方向分离设置的两个读头，是以在该第1方向较该开口的宽度大的间隔配置。

7.如权利要求6所述的曝光装置，其中，该四个读头之中于该既定面内与该第1方向正交的第2方向分离设置的两个读头，是以在该第2方向较该开口的宽度大的间隔配置。

8.如权利要求7所述的曝光装置，其中，该物体上的复数个照射区域分别以该照明光扫描曝光，并且于该扫描曝光中，该物体沿该第1方向移动；

以在该第2方向较该复数个照射区域中的一个区域的宽度与该开口的该宽度之和为大的间隔配置于该第2方向分离设置的该两个读头。

9.如权利要求1-8中任一项所述的曝光装置，其中，该编码器系统，测量包含在该既定面内彼此正交的第1方向、第2方向、及与该既定面正交的第3方向的6自由度方向的该载台的位置信息。

10.如权利要求9所述的曝光装置，其中，该编码器系统以该四个读头的各个测量在该第1方向或该第2方向、与该第3方向中的2方向的该载台的该位置信息。