[发明专利]自动试样片制作装置

说明书

本发明提供自动试样片制作装置，其使取出通过利用离子束的试样加工而形成的试样片并将其移设到试样片保持器的动作自动化。该自动试样片制作装置具备计算机，该计算机以在试样片与柱状部之间形成沉积膜的方式控制带电粒子束照射光学系统、试样片移设单元和气体供给部，直到试样片移设单元与试样片保持器之间的电气特性达到预定状态为止。

技术领域

本发明涉及自动试样片制作装置。

背景技术

以往，公知有这样的装置：取出通过对试样照射由电子或离子构成的带电粒子束而制作的试样片，将试样片加工成适合于利用扫描电子显微镜、透射电子显微镜等电子束观察、分析和计测等的各种工序的形状(例如，参照专利文献1)。

【专利文献1】日本特开平11－108810号公报

在上述现有技术的装置中，无法实现这样的技术：伴随试样片的微小化，提高为了将多个试样片高精度加工成均匀形状所需要的位置精度，使试样片的取样动作适当地自动化。

另外，在本说明书中使用的“取样”是指，取出通过对试样照射带电粒子束而制作的试样片，将该试样片加工成适合于观察、分析和计测等的各种工序的形状，更具体地是指，将对试样通过聚焦离子束的加工而形成的试样片移设到试样片保持器。

发明内容

本发明是鉴于上述情况而作成的，本发明的目的是提供一种能够使取出通过利用离子束的试样加工而形成的试样片并将其移设到试样片保持器的动作自动化的自动试样片制作装置。

为了解决上述课题而达到上述目的，本发明采用了以下的方式。

(1)本发明的一个方式的自动试样片制作装置，其从试样自动制作试样片，具备：带电粒子束照射光学系统，其照射带电粒子束；试样载物台，其放置并移动所述试样；试样片移设单元，其保持并运送从所述试样分离和取出的所述试样片；保持器固定座，其保持具有柱状部的试样片保持器，其中所述试样片被移设到该柱状部；气体供给部，其供给通过所述带电粒子束的照射形成沉积膜(deposited film)的气体；以及计算机，其以在所述试样片与所述柱状部之间形成所述沉积膜的方式控制所述带电粒子束照射光学系统、所述试样片移设单元和所述气体供给部，直到所述试样片移设单元与所述试样片保持器之间的电气特性达到预定状态为止。

(2)在上述(1)所述的自动试样片制作装置中，形成有所述沉积膜的所述试样片与所述柱状部之间的间隔是1μm以下。

(3)在上述(2)所述的自动试样片制作装置中，形成有所述沉积膜的所述试样片与所述柱状部之间的间隔是100nm以上且200nm以下。

(4)在上述(1)至(3)中任一项所述的自动试样片制作装置中，所述计算机在将待形成所述沉积膜的所述试样片与所述柱状部之间的间隔设定为预定间隔时，以使所述试样片与所述柱状部接触之后分开配置的方式控制所述试样片移设单元。

(5)在上述(1)至(4)中任一项所述的自动试样片制作装置中，所述计算机在将所述试样片移设到所述柱状部之后，以向所述试样片移设单元与所述试样片之间的所述沉积膜照射所述带电粒子束的方式控制所述带电粒子束照射光学系统，直到所述试样片移设单元与所述试样片保持器之间的电气特性达到第2预定状态为止。

(6)在上述(1)至(5)中任一项所述的自动试样片制作装置中，所述计算机将所述试样片移设单元与所述试样片保持器之间的导通状态、以及所述试样片和所述柱状部的吸收电流像中至少任一方用作所述电气特性。

(7)在上述(6)所述的自动试样片制作装置中，所述计算机当以在所述试样片与所述柱状部之间形成所述沉积膜的方式控制所述带电粒子束照射光学系统、所述试样片移设单元和所述气体供给部时，在预定时间以内所述导通状态未达到所述预定状态的情况下，将所述吸收电流像用作所述电气特性。