[发明专利]曝光方法及曝光装置、以及元件制造方法

权利要求书

1.一种透过投影光学系统以照明光使基板曝光的曝光装置，其包括：

机体，具有支承该投影光学系统的主机架；

检测系统，从该投影光学系统分离且被支承于该主机架，检测该基板的位置信息；

基座，配置于该投影光学系统与该检测系统的下方；

载台，具有保持该基板的保持装置，且配置于该基座上；

驱动系统，具有一部分设于该载台的马达，在该基座上移动该载台，以使该基板分别与该投影光学系统与该检测系统相对配置；

第1测量板，具有分别形成反射型光栅的四个第1区域，以使该四个第1区域与既定面平行且被配置于该投影光学系统的下端侧的方式被支承于该主机架；

第2测量板，具有分别形成反射型光栅的四个第2区域，以使该四个第2区域与该既定面平行且被配置于该检测系统的下端侧的方式被支承于该主机架；

编码器系统，具有设于该载台的四个读头，透过该四个读头将光束分别自下方照射该第1测量板或该第2测量板以测量该载台的位置信息；以及

控制系统，根据该编码器系统所测量的位置信息控制该驱动系统；

该编码器系统，于该基板的曝光步骤中测量配置于该第1测量板下方的该载台的位置信息，并且在藉由该检测系统对该基板的检测步骤中测量配置于该第2测量板下方的该载台的位置信息；

在该曝光步骤中该载台的移动区域，包含藉由从该四个读头逐一去除彼此不同的读头的四组三个读头分别测量该位置信息的四个座标系；

藉由在该移动区域内的该载台的移动，代替该四个座标系的一个座标系，测量在该四个座标系之中与该一个座标系不同的座标系中的该载台的位置信息；

该控制系统，使用在该四个读头分别与该四个第1区域相对的该载台的移动区域的一部分藉由该编码器系统所测量的位置信息，取得用来补偿因该四个第1区域的偏移所产生的该一个座标系与该不同的座标系的位置误差的修正信息；

该修正信息，用于代替在该一个座标系所使用的三个读头对该载台的驱动控制，而以该不同的座标系所使用的三个读头对该载台进行驱动控制。

2.如权利要求1所述的曝光装置，其中，该四个读头在与该四个区域分别相对的该移动区域的一部分，代替在该一个座标系所使用的三个读头对该载台的驱动控制，而以该不同的座标系所使用的三个读头对该载台进行驱动控制。

3.如权利要求1所述的曝光装置，其中，该修正信息，包含用来补偿起因于在该四个座标系分别用于该位置信息的测量的三个读头的组合不同所产生的该四个座标系的相对移位的偏移。

4.如权利要求1所述的曝光装置，其中，该修正信息，包含用来补偿在该移动区域的一部分的该载台的从在该一个座标系所使用的三个读头所得到的位置信息、与从在该不同的座标系所使用的三个读头所得到的位置信息的差的偏移。

5.如权利要求1所述的曝光装置，其中，该编码器系统，在该移动区域之中与该一部分不同的区域，藉由该四组三个读头的任一组测量该载台的位置信息。

6.如权利要求1-5中任一项所述的曝光装置，其中，该编码器系统，代替在该一个座标系所使用的三个读头中的一个读头，使用在该四个读头之中与在该一个座标系所使用的三个读头不同的另一个读头，并且藉由该另一个读头、与在该一个座标系所使用的三个读头之中除了该一个读头以外的两个读头的三个读头，测量在该不同的座标系的该载台的位置信息。

7.如权利要求6所述的曝光装置，其中，根据在该一个座标系所使用的三个读头所测量的位置信息，使用该另一个读头取得用来控制该载台的驱动的该编码器系统的接续信息。

8.如权利要求7所述的曝光装置，其中，该接续信息是当该载台位于该移动区域的一部分的期间取得的。

9.如权利要求6所述的曝光装置，其中，该基板被进行扫描曝光；

从该一个读头往该另一个读头的切换，是在该照明光照射于该基板的扫描曝光期间以外进行的。

10.如权利要求6所述的曝光装置，其中，从该一个读头往该另一个读头的切换，是在该载台等速移动期间以外进行的。

11.如权利要求1-5中任任一项所述的曝光装置，其中，该编码器系统，测量包含在该既定面内彼此正交的第1方向、第2方向、及与该既定面正交的第3方向的6自由度方向的该载台的位置信息。