[发明专利]扇出型封装制备方法在审

专利信息
申请号: 201510553354.3 申请日: 2015-09-01
公开(公告)号: CN105206539A 公开(公告)日: 2015-12-30
发明(设计)人: 陈峰;陆原;刘一波;林挺宇 申请(专利权)人: 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司
主分类号: H01L21/56 分类号: H01L21/56;H01L23/31
代理公司: 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104 代理人: 殷红梅;韩凤
地址: 214135 江苏省无锡市新区*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 扇出型 封装 制备 方法
【权利要求书】:

1.扇出型封装制备方法,其特征是,包括以下步骤:

(1)承载片表面涂覆临时键合胶,临时键合胶表面再涂覆第一绝缘树脂层,第一绝缘树脂层表面形成开口;

(2)将芯片倒贴在承载片上第一绝缘树脂层表面,以第一绝缘树脂层上的开口作为芯片贴装的对准标记,使芯片的焊盘对准第一绝缘树脂层的开口;

(3)在第一绝缘树脂层表面覆盖第二绝缘树脂层,将芯片包裹住;

(4)去除承载片和临时键合胶;

(5)在第一绝缘树脂层和芯片表面形成导电线路,导电线路与芯片的焊盘相连接;

(6)在导电线路上覆盖第三绝缘树脂层,并在第三绝缘树脂层表面开窗,露出部分导电线路;

(7)在露出的导电线路上制作焊球。

2.如权利要求1所述的扇出型封装制备方法,其特征是,所述芯片包括有源芯片和/或无源芯片,芯片表面有焊盘。

3.如权利要求1所述的扇出型封装制备方法,其特征是,所述临时键合胶通过加热、机械、化学、激光方式中的一种或多种去除。

4.如权利要求1所述的扇出型封装制备方法,其特征是,所述第一绝缘树脂层和第三绝缘树脂层为光敏性树脂;涂覆方式为机械方式,包括旋涂、喷涂、压合、印刷、溅射工艺中的一种或多种。

5.如权利要求1所述的扇出型封装制备方法,其特征是,所述第二绝缘树脂层为有机树脂或含有填料的有机树脂。

6.如权利要求1所述的扇出型封装制备方法,其特征是,所述第二绝缘树脂层是一层或多层结构。

7.如权利要求1所述的扇出型封装制备方法,其特征是,所述第二绝缘树脂层通过点胶、热压、塑封、印刷、旋涂、喷涂方式中的一种或多种制作。

8.如权利要求1所述的扇出型封装制备方法,其特征是,所述导电线路为一层或多层。

9.如权利要求1所述的扇出型封装制备方法,其特征是,所述第一绝缘树脂层与第三绝缘树脂层为相同材料。

10.如权利要求1所述的扇出型封装制备方法,其特征是,所述承载片为圆形、方形或不规则图形。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华进半导体封装先导技术研发中心有限公司,未经华进半导体封装先导技术研发中心有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201510553354.3/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top