[发明专利]一种涂布膜厚的检测系统及方法在审
| 申请号： | 201510556603.4 | 申请日： | 2015-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN105115432A | 公开（公告）日： | 2015-12-02 |
| 发明（设计）人： | 吴利峰;李启明;徐海乐;丁鹏;徐先华;熊燕军 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 涂布膜厚 检测 系统 方法 | ||
1.一种涂布膜厚的检测系统，其特征在于，所述涂布膜厚的检测系统包括：
一探针，用于扫描PR膜层表面；
一反馈电路，用于控制扫描头在垂直方向上移动，以使扫描过程中每一点上所述探针和PR膜层表面之间的作用力保持恒定；
一光电检测器，用于将反射的激光束转化成电脉冲信号；
一计算机，用于将所述电脉冲信号转换成或明或暗的区域，以作为所述PR膜层厚度的原始数据。
2.根据权利要求1所述的涂布膜厚的检测系统，其特征在于，所述涂布膜厚的检测系统还包括：
一微悬臂，用于固定所述探针。
3.根据权利要求2所述的涂布膜厚的检测系统，其特征在于，所述微悬臂由氮化硅及金合成材料制成。
4.根据权利要求2所述的涂布膜厚的检测系统，其特征在于，所述涂布膜厚的检测系统还包括：
一激光器，用于向所述微悬臂发射激光束；
一反光镜，用于将所述激光束反射至所述光电检测器。
5.根据权利要求2所述的涂布膜厚的检测系统，其特征在于，所述涂布膜厚的检测系统还包括：
一扫描头，与所述微悬臂连接，用于控制探针和PR膜层表面之间的作用力保持恒定。
6.一种涂布膜厚的检测方法，其特征在于，所述涂布膜厚的检测方法包括：
扫描PR膜层表面；
控制扫描头在垂直方向上移动，以使扫描过程中每一点上探针和PR膜层表面之间的作用力保持恒定；
将反射的激光束转化成电脉冲信号；
将所述电脉冲信号转换成或明或暗的区域，以作为所述PR膜层厚度的原始数据。
7.根据权利要求6所述的涂布膜厚的检测方法，其特征在于，通过微悬臂来固定探针，探针扫描PR膜层表面。
8.根据权利要求7所述的涂布膜厚的检测方法，其特征在于，所述微悬臂由氮化硅及金合成材料制成。
9.根据权利要求7所述的涂布膜厚的检测方法，其特征在于，所述涂布膜厚的检测方法还包括：
向所述微悬臂发射激光束；
将所述激光束反射至光电检测器，光电检测器将反射的激光束转化成电脉冲信号。
10.根据权利要求7所述的涂布膜厚的检测方法，其特征在于，所述涂布膜厚的检测方法还包括：
将扫描头与所述微悬臂连接，扫描头控制探针和PR膜层表面之间的作用力保持恒定。
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