[发明专利]制造有孔透镜及相关有孔透镜系统的晶圆级方法

权利要求书

1.一种用于制造有孔透镜的晶圆级方法，包括：

涂覆一抗沾黏涂料至第一基板的一平面表面；

对所述抗沾黏涂料施予一双平面透明膜，所述双平面透明膜具有靠近所述抗沾黏涂料的底部平面表面和与所述底部平面表面相反的顶部平面表面；以及

在所述顶部平面表面上沉积一具有开孔的不透明层，以使所述不透明层和所述抗沾黏涂料位于所述双平面透明膜的相反侧；

将第一隔片晶圆黏附至所述不透明层并将第一透镜晶圆黏附至所述第一隔片晶圆，以使所述开孔与所述第一透镜晶圆中的第一透镜对齐，并且所述第一隔片晶圆位于所述第一透镜晶圆和所述双平面透明膜之间；

将所述第一基板和所述抗沾黏涂料从所述底部平面表面移除；

将第二隔片晶圆黏附至所述底部平面表面并将第二透镜晶圆黏附至所述第二隔片晶圆，以使所述开孔与所述第二透镜晶圆中的第二透镜对齐，并且所述第二隔片晶圆位于所述底部平面表面和所述第二透镜晶圆之间。

2.根据权利要求1所述的方法，进一步包括：

对所述双平面透明膜施予一与所述第一基板相对的第二基板，所述第二基板含有一第二抗沾黏涂料；

使受限于所述第一基板及所述第二基板之间的所述双平面透明膜硬化；以及

通过在所述双平面透明膜与所述第二抗沾黏涂料之间的交界处将所述第二基板自所述双平面透明膜分离而移除所述第二基板。

3.根据权利要求2所述的方法，施予所述第二基板、硬化所述双平面透明膜及移除所述第二基板的步骤是于施予所述双平面透明膜与沉积所述不透明层的步骤之间执行的。

4.根据权利要求1所述的方法，所述沉积步骤包括：

光刻沉积所述不透明层。

5.根据权利要求1所述的方法，黏附所述第二隔片晶圆的步骤使得形成层迭晶圆，所述方法还包括将所述层迭晶圆切割成复数个层迭晶圆级有孔透镜系统。

6.根据权利要求1所述的方法，从所述不透明层移除所述第一基板的步骤包括：

将整个所述第一基板自所述不透明层移除。

7.根据权利要求1所述的方法，移除所述第一基板的步骤在沉积所述不透明层的步骤之后执行。