[发明专利]物理量传感器元件、物理量传感器、电子设备以及移动体

权利要求书

1.一种物理量传感器元件，其特征在于，具备：

支承部；

质量部；

梁部，其连接所述支承部与所述质量部，

所述梁部具有分岔的部分。

2.如权利要求1所述的物理量传感器元件，其中，

所述梁部具有从所述质量部的互不相同的两个位置延伸出的两个质量部侧梁部，

所述两个质量部侧梁部的所述支承部侧的端部彼此互相连接。

3.如权利要求2所述的物理量传感器元件，其中，

各个所述质量部侧梁部的所述质量部侧的端部的宽度与各个所述质量部侧梁部的中途的宽度相比而较宽。

4.如权利要求1所述的物理量传感器元件，其中，

所述梁部具有从所述支承部的互不相同的两个位置延伸出的两个支承部侧梁部，

所述两个支承部侧梁部的所述质量部侧的端部彼此互相连接。

5.如权利要求4所述的物理量传感器元件，其中，

各个所述支承部侧梁部的所述支承部侧的端部的宽度与各个所述支承部侧梁部的中途的宽度相比而较宽。

6.如权利要求1所述的物理量传感器元件，其中，

所述梁部具有在所述梁部的中途处分岔的两个分岔梁部，

所述两个分岔梁部的所述质量部侧的端部彼此连接，并且所述两个分岔梁部的所述支承部侧的端部彼此互相连接。

7.如权利要求1所述的物理量传感器元件，其中，

具备：

第一质量部以及第二质量部，所述第一质量部以及第二质量部分别构成所述质量部；

第一支承部以及第二支承部，所述第一支承部以及第二支承部分别构成所述支承部；

第一梁部，其构成对所述第一质量部和所述第一支承部进行连接的所述梁部，

第二梁部，其构成对所述第二质量部和所述第二支承部进行连接的所述梁部，

连结部，其对所述第一质量部和所述第二质量部进行连接。

8.如权利要求7所述的物理量传感器元件，其中，

所述连结部的一端部与所述第一质量部的内侧的部分连接，所述连结部的另一端部与所述第二质量部的内侧的部分连接，

所述第一质量部具有第一易变形部，所述第一易变形部与所述连结部的所述一端部连接，且能够以减少相对于基准面而言的所述第一质量部的姿态的变化的方式进行变形，

所述第二质量部具有第二易变形部，所述第二易变形部与所述连结部的所述另一端部连接，且能够以减少相对于所述基准面而言的所述第二质量部的姿态的变化的方式进行变形。

9.如权利要求8所述的物理量传感器元件，其中，

所述第一质量部具有第一间隙部，所述第一间隙部中配置有所述第一易变形部，

所述第二质量部具有第二间隙部，所述第二间隙部中配置有所述第二易变形部。

10.如权利要求7所述的物理量传感器元件，其中，

具备对沿着基准面的所述第一支承部以及所述第二支承部的振动进行检测的电极。

11.一种物理量传感器，其特征在于，具备：

权利要求1所述的物理量传感器元件；

封装件，其收纳所述物理量传感器元件。

12.一种电子设备，其特征在于，具备：

权利要求1所述的物理量传感器元件。

13.一种移动体，其特征在于，具备：

权利要求1所述的物理量传感器元件。

14.如权利要求2所述的物理量传感器元件，其中，

所述梁部具有从所述支承部的互不相同的两个位置延伸出的两个支承部侧梁部，

所述两个支承部侧梁部的所述质量部侧的端部彼此互相连接。

15.如权利要求14所述的物理量传感器元件，其中，

具备：

第一质量部以及第二质量部，其分别构成所述质量部；

第一支承部以及第二支承部，其分别构成所述支承部，

第一梁部，其构成对所述第一质量部和所述第一支承部进行连接的所述梁部，

第二梁部，其构成对所述第二质量部和所述第二支承部进行连接的所述梁部，

连结部，其连接所述第一质量部与所述第二质量部。