[发明专利]物理量传感器元件、物理量传感器、电子设备以及移动体

说明书

技术领域

本发明涉及一种物理量传感器元件、物理量传感器、电子设备以及移动体。

背景技术

近年来，作为使用了硅MEMS(MicroElectroMechanicalSystem：微机电系统)技术的物理量传感器元件，例如已知有一种对角速度进行检测的静电电容型的陀螺传感器元件(角速度传感器)(例如，参照专利文献1)。

例如，在专利文献1所涉及的角速度传感器中，两个质量体被间接地连结在框架上。这两个质量体以必须沿着Z方向而向相反方向移动的方式通过链接装置而被连结。以Y轴为中心的传感器的角速度能够通过使两个质量体以相反相位在Z方向上进行振动并对由此而被施加于框架上的角振动的振幅进行测定，从而被感知。

但是，在专利文献1所涉及的角速度传感器中，对各个质量部与框架进行连接的铰链的变形较大，从而使作用于各个质量部的科里奥利力无法高效地传递到框架上，其结果为，存在检测精度降低的问题。

本发明的目的在于，提供一种具有优异的检测精度的物理量传感器元件，而且还提供一种具备所涉及的物理量传感器元件的物理量传感器、电子设备以及移动体。

专利文献1：日本特表2007-509346号公报

发明内容

本发明是为了解决上述课题的至少一部分而完成的发明，并且能够作为以下的方式或应用例而实现。

应用例1

本发明的物理量传感器元件的特征在于，具备：支承部；质量部；梁部，其连接所述支承部与所述质量部，所述梁部具有分岔的部分。

根据这种物理量传感器元件，由于梁部具有分岔的部分，因此能够提高作用于质量部的科里奥利力的方向上的梁部的弯曲刚性。因此，能够有效率地从质量部向支承部传递科里奥利力，其结果为，能够减少振动泄漏从而提高检测精度。

应用例2

在本发明的物理量传感器元件中，优选为，所述梁部具有从所述质量部的互不相同的两个位置延伸出的两个质量部侧梁部，所述两个质量部侧梁部的所述支承部侧的端部彼此互相连接。

由此，能够通过简单的结构来提高科里奥利力的方向上的梁部的刚性。

应用例3

在本发明的物理量传感器元件中，优选为，各个所述质量部侧梁部的所述质量部侧的端部的宽度与各个所述质量部侧梁部的中途的宽度相比而较宽。

由此，能够通过简单的结构来提高科里奥利力的方向上的梁部的刚性。

应用例4

在本发明的物理量传感器元件中，优选为，所述梁部具有从所述支承部的互不相同的两个位置延伸出的两个支承部侧梁部，

所述两个支承部侧梁部的所述质量部侧的端部彼此互相连接。

由此，能够通过简单的结构来提高科里奥利力的方向上的梁部的刚性。

应用例5

在本发明的物理量传感器元件中，优选为，各个所述支承部侧梁部的所述支承部侧的端部的宽度与各个所述支承部侧梁部的中途的宽度相比而较宽。

由此，能够通过简单的结构来提高科里奥利力的方向上的梁部的刚性。

应用例6

在本发明的物理量传感器元件中，优选为，所述梁部具有在所述梁部的中途处分岔的两个分岔梁部，

所述两个分岔梁部的所述质量部侧的端部彼此连接，并且所述两个分岔梁部的所述支承部侧的端部彼此互相连接。

由此，能够通过简单的结构来提高科里奥利力的方向上的梁部的刚性。

应用例7

在本发明的物理量传感器元件中，优选为，具备：第一质量部以及第二质量部，所述第一质量部以及第二质量部分别构成所述质量部；第一支承部以及第二支承部，所述第一支承部以及第二支承部分别构成所述支承部；第一梁部，其构成对所述第一质量部和所述第一支承部进行连接的所述梁部；第二梁部，其构成对所述第二质量部和所述第二支承部进行连接的所述梁部；连结部，其对所述第一质量部和所述第二质量部进行连接。

由此，通过使第一质量部和第二质量部以反相进行振动，从而能够使这些振动抵消，由此能够减少振动泄漏。

应用例8