[发明专利]切割刀片的磨刀定位装置及其安装方法

权利要求书

1.一种切割刀片的磨刀定位装置，用于将磨刀板定位安装在吸附盘上，其特征在于，包括：导向柱、定位底座和多个定位爪，其中，所述定位底座设有多个导向槽，所述导向柱设有通孔，所述通孔内壁为倾斜表面；所述定位爪滑动安装在所述导向槽内，所述定位爪突起的爪头部分卡嵌在所述导向柱的内壁上，所述定位爪一端为水平圆角，当所述导向柱下压时，能够带动多个所述定位爪靠拢，使具有水平圆角的一端卡牢磨刀板，进行定位。

2.如权利要求1所述的切割刀片的磨刀定位装置，其特征在于，所述定位爪与定位底座之间由弹性部件连接。

3.如权利要求2所述的切割刀片的磨刀定位装置，其特征在于，所述定位爪包括水平支撑杆，所述定位爪与定位底座之间由扭簧连接，所述的扭簧的一端固定在所述水平支撑杆的侧壁，另一端固定在所述导向槽的侧壁。

4.如权利要求1所述的切割刀片的磨刀定位装置，其特征在于，所述定位爪为卡嵌在导向槽中的金属铸造件。

5.如权利要求1所述的切割刀片的磨刀定位装置，其特征在于，所述定位爪的水平圆角为平滑过渡，抛光至镜面，表面硬度为洛式硬度HRC60。

6.如权利要求1所述的切割刀片的磨刀定位装置，其特征在于，所述导向柱，定位底座和吸附盘同轴。

7.如权利要求1所述的切割刀片的磨刀定位装置，其特征在于，所述导向柱为金属铸造件，内壁抛光至镜面。

8.如权利要求1所述的切割刀片的磨刀定位装置，其特征在于，所述定位底座为金属铸造件，所述定位底座上设有三个导向槽，所述导向槽边缘光滑。

9.如权利要求8所述的切割刀片的磨刀定位装置，其特征在于，所述定位爪的个数为3个，分别安装在三个所述导向槽内。

10.一种晶圆切割用刀片磨刀定位装置的使用方法，采用如权利要求1至9中任一项所述的切割刀片的磨刀定位装置，其特征在于，操作时包含如下步骤：下压导向柱，所述导向柱向下垂直于吸附盘的作用力推动定位爪靠拢，并夹紧磨刀板，所述吸附盘真空吸附住磨刀板后，磨刀板定位安装完成，释放所述导向柱，所述导向柱和定位爪复位。