[发明专利]一种日盲反射式介质滤光片及其制备方法在审
| 申请号： | 201510578998.8 | 申请日： | 2015-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN105137515A | 公开（公告）日： | 2015-12-09 |
| 发明（设计）人： | 王孝东;陈波;王海峰;刘世界;郑鑫;马月英 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G02B5/20 | 分类号： | G02B5/20;C23C14/26;C23C14/30;C23C14/06 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 刘慧宇 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 反射 介质 滤光 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种日盲反射式介质滤光片，其特征是，该滤光片包括：基底和LaF3/MgF2非周期多层膜；所述LaF3/MgF2多层膜制作在基底上；LaF3和MgF2交替沉积在基底上，靠近基底侧膜层为LaF3，最外层也是LaF3；多层膜的层数为10-25层。
2.根据权利要求1所述的一种日盲反射式介质滤光片，其特征在于，基底表面粗糙度小于1nm。
3.根据权利要求1所述的一种日盲反射式介质滤光片，其特征在于，每层LaF3薄膜的物理厚度在10-60nm之间,每层MgF2薄膜的物理厚度在10-80nm之间。
4.一种日盲波段反射式介质滤光片的制备方法，其特征是，该方法包括如下步骤：
步骤一，将清洗后的基底装入清洁的真空室内，抽真空至3.0×10-4Pa；
步骤二，将基底加热到150-250℃之间的某一温度，并保持60min；
步骤三，采用电阻蒸发法沉积LaF3，采用电子束蒸发法沉积MgF2，LaF3和MgF2交替沉积在基底上；LaF3膜层的沉积速率为0.4～0.6nm/s，MgF2膜层的沉积速率为0.7～0.9nm/s；每层LaF3薄膜的物理厚度在10-60nm之间,每层MgF2薄膜的物理厚度在10-80nm之间，膜层厚度采用晶振法控制；
步骤四，基底自然冷却至室温，得到所述的日盲波段反射式介质滤光片。
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