[发明专利]用于操作洁净室的方法和控制设备

权利要求书

1.一种用于操作洁净室(12，28)的方法，所述洁净室包括工作室(12，13，14，29)、室通风系统(15，30)和控制设备(16，31)，通过所述控制设备控制和/或调节所述室通风系统，通过所述室通风系统产生所述工作室中的空气交换率以及所述工作室和环境(25，45)之间的压力差，所述控制设备包括用于记录代表操作参数的实际值的至少一个传感器设备(19，48)，其特征在于，通过所述控制设备以使得所述实际值在目标值的范围内的方式调整所述空气交换率。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述工作室(12，13，14，29)中产生正压力作为压力差。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，通过所述传感器设备(19，48)记录所述压力差和所述工作室(12，13，14，29)中的空气质量和/或代表所述工作室的操作参数的实际值。

4.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，通过所述传感器设备(19，48)记录门开度、空气温度、相对空气湿度、空气交换率、空气压力、运动强度、个人的数目、CO₂浓度和/或颗粒浓度的实际值。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，在所述工作室(12，13，14，29)中的工作点或所述室通风系统(15，30)的排气中测量所述颗粒浓度。

6.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，所述控制设备(16，31)根据时间控制和/或根据运动强度选择目标值，用于操作期间的目标活动值或用于非活动期间的目标非活动值被选择作为所述目标值。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，在所述非活动期间，与所述操作期间相比，颗粒浓度、温度和/或相对空气湿度被提高，或者所述颗粒浓度被提高而所述温度和/或所述相对空气湿度被降低。

8.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，所述压力差的控制由所述空气交换率的控制取代。

9.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，所述室通风系统(15，30)包括用于供气的第一通风机(38)和用于排气的第二通风机(42)，所述控制设备(16，31)通过调整各个通风机的旋转速度来控制所述压力差。

10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述控制设备(16，31)根据所述操作参数控制所述第一通风机(38)的转速，优选地根据空气温度和颗粒浓度。

11.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，所述传感器设备(19，48)记录所述供气的空气温度和所述排气的空气温度，所述控制设备根据所述排气的所述空气温度控制所述第一通风机(38)的转速和/或所述供气的处理。

12.根据权利要求9至11中任一项所述的方法，其特征在于，所述控制设备(16，31)根据所述压力差控制所述第二通风机(42)的转速，优选地根据所述工作室(12，13，14，29)中的空气压力和所述第一通风机(38)的转速。

13.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，所述控制设备(16，31)存储操作期间记录的操作参数并从存储的所述操作参数中导出操作情况的规则性循环顺序，所述控制设备将所述空气交换率调整到将来预期的操作情况。

14.一种用于洁净室(12，28)的控制设备(16，31)，所述洁净室包括工作室(12，13，14，29)和室通风系统(15，30)，其中通过所述控制设备控制和/或调节所述室通风系统，其中通过所述室通风系统产生所述工作室中的空气交换率以及所述工作室和环境(25，45)之间的压力差，所述控制设备包括用于记录代表操作参数的实际值的至少一个传感器设备(19，48)，其特征在于，通过所述控制设备以使所述实际值在目标值的范围内的方式调整所述空气交换率。

15.一种洁净室(12，28)，所述洁净室包括工作室(12，13，14，29)、室通风系统(15，30)和根据权利要求14所述的控制设备(16，31)。

16.根据权利要求15所述的洁净室，其特征在于，所述洁净室(12，28)包括多个相互连接的具有不同压力差的工作室(12，13，14，29)。