[发明专利]用于操作洁净室的方法和控制设备

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于操作洁净室的方法以及一种用于洁净室的控制设备。洁净室包括工作室、室通风系统和控制设备，通过控制设备控制和/或调节室通风系统，通过室通风系统产生工作室内的空气交换率以及工作室和环境之间的压力差，其中控制设备包括用于记录代表操作参数的实际值的至少一个传感器设备。

背景技术

用于洁净室的这种方法和控制设备通常被用于控制和调节室通风系统。通过室通风系统，将供气提供到室，并将排气从室中排出，例如通过室中的相应传感器对空气温度或相对湿度进行监测。然后空气温度的变化使室通风系统以这样的方式被控制设备控制：对室的供气进行冷却或加热以维持或实现期望的空气温度。

此外，在洁净室中，其目的是在独立自足的可进入的工作室或在工作隔间内产生特别洁净的空气环境以防止实验样品或微电子元器件被例如细菌，微生物或尘土颗粒污染。为了这个目的，使用室通风系统在工作室内产生与工作室的环境相比大幅减少的颗粒浓度。同时，在工作室和环境之间产生永久压力差以防止颗粒进入工作室或从工作室离开。进一步地，需要个人进入工作室以进行工作活动。除了合适的工作服和可能的特殊工作设备，这些个人通常代表颗粒和污染物的最大来源。

除了工作室中理应引导污染物离开工作地点的适当气流外，对供给到工作室的空气进行多次过滤并持续供给到工作室以维持在限定值以下的颗粒浓度。所述限定值取决于工作室的根据诸如ISO14644-1的标准的洁净度的等级。为了始终确保工作室中所需的压力差和颗粒浓度，对室通风系统永久地操作，这包括在工作室中不进行工作活动的时间以及个人出现在工作室中的时间。选择空气交换率以使一定数量的个人能够进入工作室，这导致颗粒浓度的急速增加而不会超过用于相关洁净室等级的可容许颗粒浓度。可选择地，可在工作室的入口处布置诸如停止灯的灯信号设备，这根据颗粒浓度控制进入或允许以及停止颗粒浓度的产生。

确保足够低的颗粒浓度，因此需要相应高的空气交换率。颗粒浓度基本上由室通风系统的运行通风机的旋转速度决定。由于通风机被持续性地操作并永久使用，这导致相对高的能源成本以及洁净室的操作成本。

发明内容

因此，本发明的根本目的在于提出一种用于操作洁净室的方法和控制设备，通过该两者能够减少洁净室的操作成本。

所述目的由合并权利要求1的特征的方法，合并权利要求14的特征的控制设备以及合并权利要求15的特征的洁净室实现。

在根据本发明的用于操作洁净室的方法中，洁净室包括工作室、室通风系统和控制设备。通过控制设备控制和/或调节室通风系统，通过室通风系统产生工作室中的空气交换率以及工作室和环境之间的压力差，控制设备包括用于记录代表操作参数的实际值的至少一个传感器设备，其中通过控制设备以这样的方式调整空气交换率：实际值在目标值的范围内。

经由根据本发明的方法，确保在洁净室的操作期间的任何时间，在可进入的工作室中可得到相比于工作室的环境减小的颗粒浓度。同时，在工作室中永久地提供不会降到最小值以下的空气交换率，同时也永久地维持压力差。在工作室中是否具有相对于工作室的环境的正压力或负压力最初不重要。在洁净室的持续性操作期间，通过传感器设备对工作室的至少一个操作参数进行记录。所述操作参数如何被记录或测量是不重要的。基本的方面是工作室的实际值被记录，例如这也可以发生在工作室外，在室通风系统内或上。传感器设备记录的操作参数的实际值由控制设备进行加工并用于以这样的方式调整空气交换率：实际值在操作参数的目标值的范围内。

通过将空气交换率联系到根据目标值控制的已记录的实际值，可能在操作期间降低空气交换率，在操作期间，工作室完全不可进入或者只可被很少的个人进入。关于实际值的记录，基本上是空气交换率的变化能够影响所述实际值。在工作室可被进入或被一定数量的个人使用的操作期间，相关实际值或操作参数受到影响以便控制设备引发相对较高的空气交换率，进而将实际值维持在目标值的范围内并相应地控制实际值。通过以这种方式将空气交换率调整到工作室的使用，室通风系统的通风机的旋转速度因此在工作室中没有活动或者几乎没有活动的操作期间能够被降低。结果，在这些操作期间能够节省能量并且因而降低操作成本。

在方法中，尤其可设想的是在整个操作过程期间在工作室中产生永久且持续的正压力作为压力差。这样，因为通过正压力产生流出工作室的持续气流，可防止颗粒轻易地进入工作室。同时，如果要防止细菌或微生物从工作室逃离，也可能在工作室中产生负压力。