[发明专利]用于有机发光二极管蒸镀系统中的填料装置及方法

权利要求书

1.一种用于有机发光二极管蒸镀系统中的填料装置，其特征在于：包括设置在真空蒸镀空间内的填料瓶、磁性盖板、蒸镀材料槽及磁感应驱动单元，所述填料瓶瓶口朝下，所述磁性盖板铰接在所述填料瓶的瓶口处，所述填料瓶的瓶口朝向所述蒸镀材料槽，所述瓶口外侧设置磁感应驱动单元，以驱动所述磁性盖板的开合。

2.根据权利要求1所述的用于有机发光二极管蒸镀系统中的填料装置，其特征在于：还包括引流管，所述引流管的一端与所述填料瓶的瓶口连接，另一端朝向蒸镀材料槽。

3.根据权利要求2所述的用于有机发光二极管蒸镀系统中的填料装置，其特征在于：所述磁性盖板包括两个相对称的永磁体板，所述永磁体板的一端与瓶口铰接，另一端与瓶口卡接。

4.根据权利要求3所述的用于有机发光二极管蒸镀系统中的填料装置，其特征在于：两个所述永磁体板均为半圆形，且其直径边相对接；所述永磁体板的弧顶端与瓶口铰接。

5.根据权利要求4所述的用于有机发光二极管蒸镀系统中的填料装置，其特征在于：所述永磁体板的弧边靠近直径边的位置与瓶口卡接。

6.根据权利要求5所述的用于有机发光二极管蒸镀系统中的填料装置，其特征在于：所述瓶口的内壁上开设有滑槽，所述永磁体板的弧边具有与所述滑槽配合的突起，以使永磁体板卡接在瓶口处。

7.根据权利要求1-6任一项所述的用于有机发光二极管蒸镀系统中的填料装置，其特征在于：所述磁感应驱动单元为一对电磁铁，两个电磁铁分置于瓶口的两侧，电磁铁通电时，所述永磁体板位于所述电磁铁形成的磁场中。

8.根据权利要求7所述的用于有机发光二极管蒸镀系统中的填料装置，其特征在于：所述填料瓶的瓶底开设有充气孔。

9.一种用于有机发光二极管蒸镀系统中的填料方法，其特征在于：包括以下步骤：

S1、向密闭的填料瓶内充入惰性气体，直至把填料瓶内的空气排出；

S2、向填料瓶内装填蒸镀材料；

S3、将填料瓶倒置于真空蒸镀空间内蒸镀材料槽上方，且使填料瓶的瓶口朝向蒸镀材料槽；

S4、对真空蒸镀空间抽真空，直至负压将磁性盖板打开；

S5、通过磁感应驱动单元将磁性盖板吸附，使磁性盖板完全打开，以使蒸镀材料进入蒸镀材料槽内；

S6、当填料瓶完成对蒸镀材料槽的材料填充后，改变磁感应驱动单元的磁场方向，将磁性盖板弹开，使磁性盖板关闭。

10.根据权利要求9所述用于有机发光二极管蒸镀系统中的填料方法，其特征在于：所述蒸镀材料为蒸镀有机材料或活波金属。

11.根据权利要求10所述用于有机发光二极管蒸镀系统中的填料方法，其特征在于：步骤S3中，将引流管的一端与所述填料瓶的瓶口连接，另一端朝向蒸镀材料槽；步骤S5中，使蒸镀材料通过引流管进入蒸镀材料槽内。